瑞士英福康真空计***-天河区英福康真空计-广州潽拓光电

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inficon真空紧凑型的校准泵组就能够组建起这样一个系统。谱拓认为这个易于使用的便携式系统是专为同时在线进行多个仪器检测而量身定做的。其系统具有使用便捷、快速及符合***工学标准的特点。

校准要求

在进行校准前，必须满足如下条件：

■系统极限压力ρE必须超过 很小校准压力ρmin的50倍

(ρE≤ρmin/50)

■环境温度必须恒定(±1°C)

■校准系统必须热稳定

■标准真空计和其他真空计在测量时真空度必须稳定

inficon真空解决方案

inficon真空提供了一套紧凑、便携的泵组用于校准。这套泵组由一套涡轮分子泵组(例如，HiCube80Eco)和一个采用玻璃珍珠喷沙工艺的不锈钢腔体组成。

涡轮分子泵组由一个带Holweck级的(HiPace80)涡轮分子泵和一款干式压缩隔膜泵(MVP015-2)组成。这款泵组的抽速 很高可达67l/s并且 很终真空度可达110-7 hPa。

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DL-10A的校准曲线如下所示：▲DL-10A校准曲线横坐标是中国计量院科学院测量标准值，气样是氮气。纵坐标是DL-10A显示值。DL-10A的下限决定于Z0随时间漂移带来的误差。它主要决定于晶振的结构以及环境温度的变化。PART 02石英真空计性能

●石英真空计的精度较高，用音叉结构的晶振安装在稳定温度的金属柱上，在0.01Pa~105Pa之间测量误差为±10%。在真空计上限附近，即接近大气压经过调整后误差较小可做到3%。随着压强的减小，误差会增大。在真空计的下限误差较大。

▲DL-10A在中国计量科学院校准氮气结果

●石英真空计读数与气体种类有关，不同气体的相对压强读数也不同。下图采用的基准气体为氮气，测量不同气体时，瑞士英福康真空计养护，应对该气体进行修正。▲不同气体的压强读数

●环境温度的变化会影响石英真空计的读数，在高压强不会引起很大误差，但在接近下限，会引起很大的误差。这主要体现在晶体的固有阻抗Z0随温度变化。

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2022年，将再次鼓足干劲扶持关键技术科技攻关，做好现阶段产品提升升级和品牌推广，做好后面的深度开发和科技成果转化，为所高质量发展作出贡献，瑞士英福康真空计维修，以身体力行为建设重大工程的顺利进行给予高靠谱准确测量技术性确保。

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