精密/超精密运动工业直线滑台的发展历史
2015年，随着激光器的逐渐成熟，大陆地区的激光切割、激光加工等细分市场突起，带动了诸如玻璃屏幕切割、手机壳激光毛化处理、后视镜切割、激光打标等细分市场的增长，随着激光器及其工艺的成熟发展，带来了对精密工业直线滑台精度需求的提高，对***精度、重复***精度、速度、加速度等指标提升了一个等级，精度需求逐渐过渡到5-10微米左右的中端产品精度等级。因此，直线电机驱动的精密工业直线滑台与精密运动台得以大规模、大批量应用。在此背景下，涌现出一大批直线电机及其工业直线滑台制造商，极大地加速了国产自动化装备的发展。
精密/超精密运动工业直线滑台的发展历史
今年，大方位性芯片供给不足，***封装、***制程等国产半导体设备需求量陡增，同时对精密运动工业直线滑台的精度等性能要求也在相应提高，此类半导体设备所需的精密运动系统***精度在1μm左右。预计今年此类半导体设备对直线电机、工业直线滑台及运动台的需求量约为0.5亿元，并将以每年30%的增幅递增。
综上，随着国内豪华制造装备需求的不断提升，在国产化进程不断加速的趋势下，精密/超精密运动工业直线滑台具有巨大的市场空间。
工业直线滑台+伺服电机的控制方式
工业直线滑台对运动中的动态性能有比较高的要求时，需要实时对电机进行调整。如果控制器本身的运算速度很慢（比如，或低端运动控制器），就用位置方式控制。工业直线滑台中如果控制器运算速度比较快，可以用速度方式，把位置环从驱动器移到控制器上，减少驱动器的工作量，提升效率；如果有更好的控制器，还可以用转矩方式控制，把速度环也从驱动器上移开，这一般只是豪华用控制器才能这么做。
一般说驱动器控制的好坏，有个比较直观的比较方式，叫响应带宽。当转矩控制或速度控制时，通过脉冲发生器给它一个方波信号，使工业直线滑台中电机不断的正转、反转，不断的调高频率，示波器上显示的是个扫频信号，当包络线的顶点到达较高值的70.7%时，表示已经失步，此时频率的高低，就能说明控制的好坏了，一般电流环能做到1000HZ以上，而速度环只能做到几十赫兹。
