inficon真空计控制器维保-潽拓光电

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热传导真空计的原理？通过什么量的测量来反映热传导的变化？

答：热传导真空计是依据低压气体的热传导与压力有关这一现象来进行测量的。它可以通过热丝电阻的变化来反映温度的变化，从而反映热传导的变化，用此种测量方法的真空计称为热阻真空计，又称为皮拉尼真空计。也可以直接用热电偶测量热丝的温度变化来反映热传导的变化，称为热偶真空计。

影响热传导真空计测量下限的原因是什么？

答：热丝的热量除了气体传热外，还可以沿着热丝本身向两端传热，即固体传热；还可以以辐射的方式传热，这两种传热方式与压力无关，当压力较低，气体的传热量明显低于固体的传热和辐射传热时，就不能反映压力的变化了，即达到了测量的下限。

热传导真空计为什么易老化？

答：因热丝长期工作在高温下，受气体作用易氧化变细，或导致热丝本身结晶构造变化，因此会改变热丝的电阻，造成零点的漂移，这是属于热丝本体的。热丝表面因会吸附气体而改变了表面的适应系数，即热交换的机制，造成灵敏度的变化。以上均属于老化现象。

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上世纪50年代，D.J.Pacey研究用石英晶振测量气体压强。他采用双三级管（电子管）做电路，其一侧与晶振构成Pierce-Miller振荡器，晶振置于被测气体中作压强传感器。当气体压强变化时，阳极电流也随之变化。据称该仪器可测105Pa到13.3Pa的压强。

到了20世纪80年代，M.Ono等人设计了测量范围从1.33Pa到大于105Pa的石英真空计。所用晶振为音叉结构，长2.66mm，宽0.3mm，厚0.13mm，谐振频率为32768Hz。仪器采用位相锁定环路，（phaselookedloop）使振荡电路的频率与晶振的谐振频率保持一致。为了进一步减小下限，经过对石英晶振结构的研究，选用10mm长的晶振做成0.133Pa~105Pa测量范围的真空计。

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热偶真空计工作中特点热偶真空计是相对性真空计，其工作压力-热偶电势差相匹配值无法用计算方式准确求取，inficon真空计控制器出售，因而，经常在规范自然环境情况下，用肯定真空计或用校正系统软件经校正明确。在一定的加温电流量情况下，适用DL-3型规管的热偶真空计对干躁气体的校准曲线如下图4-9和图4-10所显示。

DL-3型热偶真空计的校准曲线(10～10-1Pa)图4-10DL-3型热偶真空计的校准曲线(102～10Pa)由图4-10可以看出，当工作压力从0.1MPa逐渐逐步减少(图上未画出)的一段工作压力区域内，热偶电势差E一直在零值周边，其根本原因是气体分子结构多，传输走的卡路里多，inficon真空计控制器维保，因此热丝温度低，热偶电势差E亦低，梅州inficon真空计，并且这时(λ≤r1)导热与工作压力不相干，故热偶电势差E不转变(小量转变是气体热对流造成的)。

当气体压力至102Pa时，热偶电势差E逐渐扩大，这也是因为这时气体传输走的发热量降低，热丝温度已上升。当工作压力p再次下降时，热偶电势差再次扩大，可是愈来愈迟缓，很后趋向一定值。自此，inficon真空计控制器方案，p再减少，E不会再转变，即热偶真空计已做到其准确测量限，这一限为其准确测量低值，约为10-1Pa。为了更好地应用上的便捷，通常依照p—E校准曲线将微伏计的标尺改为真空值。用那样标尺的真空计准确测量时，可立即读取真空值，从此不用依据测定的p-E校准曲线查被测真空值。

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