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广东省科学院半导体研究所

普通会员4
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企业等级:普通会员
经营模式:生产加工
所在地区:广东 广州
联系卖家:曾经理
手机号码:15018420573
公司官网:www.micronanolab.com
企业地址:广州市天河区长兴路363号
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企业概况

广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,其前身是2010年10月在成立的广东半导体照明产业技术研究院。2015年6月经省政府批准,由原广东省科学院、广东省工业技术研究院(广州有色金属研究院)、广东省测试分析研究所(中国广州分析测试中心)、广东省石油化工研究院等研究院所整合重组新广......

广西壮族自治真空镀膜-生物芯片真空镀膜-半导体研究所

产品编号:1000000000017591474                    更新时间:2022-09-14
价格: 来电议定
广东省科学院半导体研究所

广东省科学院半导体研究所

  • 主营业务:深硅刻蚀,真空镀膜,磁控溅射,材料刻蚀,紫外光刻
  • 公司官网:www.micronanolab.com
  • 公司地址:广州市天河区长兴路363号

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曾经理 15018420573

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产品详情

低压气相沉积真空镀膜加工厂——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,立足于广东省经济社会发展的实际需要,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。


 钝化接触在两个方面上优异于其他传统电池结构:

(1)金属/半导体界面的复合通过晶硅和金属接触之间的钝化层而减少;

(2)多子可以由隧穿效应移动到金属接触,但少子因为载流子选择性不能从晶硅移动到金属接触。这种钝化接触可用本征非晶硅或者超薄氧化硅作为钝化层。基于非晶硅的钝化接触便是异质结电池结构或者HIT;基于SiO2的钝化接触和多晶硅的叠加结构便是TOPCon技术。因为异质结结构目前工艺过程中有温度限制,所以poly-Si/SiOx代替了非晶硅吸引到了众多研究者和企业的关注。




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低压气相沉积真空镀膜加工厂——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,共溅射真空镀膜,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,生物芯片真空镀膜,立足于广东省经济社会发展的实际需要,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。

真空电镀加工时产生掉膜的原因比较多也比较复杂。处理起来比较棘手,可以考虑从以下几个方面排除:

1、表面清洁度:产品表面洁净度不够,可以考虑离子源清洗时气放大、时间长点。

2、真空镀膜清洗过程中的问题:镀前清洗不到位,或更换了清洗液。

3、工艺的问题:工艺参数是否有变动,在镀膜时间和电流上做适当调整。

4、靶材的问题:钛靶是否中i毒,电子束蒸发真空镀膜,检查和更换。

5、真空腔是否漏气:进行一次捡漏。

6、产品表面氧化:氧化的原因比较多,可以自行判断处理。





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低压气相沉积真空镀膜加工厂——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,立足于广东省经济社会发展的实际需要,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。


 PECVD方法区别于其他CVD方法的特点在于等离子体中含有大量高能量的电子,广西壮族自治真空镀膜,它们可以提供化学气相沉积过程所需的激i活能。电子与气相分子的碰撞可以促进气体分子的分解、化合、激发和电离过程,生成活性很高的各种化学基团,因而显著降低CVD薄膜沉积的温度范围,使得原来需要在高温下才能进行的CVD过程得以在低温下实现。利用高频电源辉光放电产生等离子体对化学气相沉积过程施加影响的技术被称为等离子体增强CVD。电子和离子的密度达109~1012个/cm3,平均电子能量可达1~10eV。成膜过程在真空中进行,大约在5~500Pa范围内。由于等离子体存在,促进气体分子的分解、化合、激发和电离,促进反应活性基团的生成,从而降低沉积温度。PECVD在200℃~500℃范围内成膜,远小于其他CVD在700℃~950℃范围内成膜。PECVD成膜均匀,尤其适合大面积沉积。由于在氨气压条件下,提高了活性基团的扩散能力,从而提高薄膜的生长速度一般可达30~300nm/min以上。




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广西壮族自治真空镀膜-生物芯片真空镀膜-半导体研究所由广东省科学院半导体研究所提供。广东省科学院半导体研究所为客户提供“深硅刻蚀,真空镀膜,磁控溅射,材料刻蚀,紫外光刻”等业务,公司拥有“半导体”等品牌,专注于电子、电工产品加工等行业。,在广州市天河区长兴路363号的名声不错。欢迎来电垂询,联系人:曾经理。

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地址:广州市天河区长兴路363号主营产品:深硅刻蚀,真空镀膜,磁控溅射,材料刻蚀,紫外光刻

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