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蒸发电极金属退火

蒸发电极金属以后需要进行退火，使得半导体表面与金属能够形成合金，以接触良好（减小接触电阻）。这时的退火温度要选取得稍高于金属-半导体的共熔点（对于Si-Al合金，为570度）。  

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二、铁素体不锈钢 铁素作不锈钢的含Cr量一般为1330合碳量低于0.25%。有时还

加入其它合金元素。金相***主要是台铁 素体加热及冷却过程中没有α<=>γ转变不

能用热处理进行强化。性强加入合金元素比可在有机酸及 含Cl-的介质中有较强

的抗蚀。同时它还具有良好的热加工性及一定的冷加工性。铁体不锈钢主要用来制作要求

有较高的耐蚀性而强度要求较低的构件广泛用于制造生产、氮肥等设备和化工使用的

管道等。 典型的铁案体不锈钢有Crl7型、Cr25型和Cr28型，其成分性能及热处理工艺如

表所示。

阶段保温15~20h，为吸氮阶段。这一阶段采用较低的氨分解率(18%25%)。零件表面因洗后大量氮原子而与零件心部形成氮浓度差。第二阶段为扩散阶段。在这个阶段为家少活性氮原子的数量而将氨分解率提高到30%~40%，莱西热处理，保温时间在60h左右。

为减少渗氮层的脆性，高新区热处理，在渗氮结束前2~4h进行退氮处理，氨分解率提高到70%以上，热处理，退氮温度提高到560~570℃。等温渗氮工艺过程简单，渗氮温度较低、渗层浅、零件变形小、表面硬度高，但渗氮速度慢，产生周期长，适用于渗氮深度浅，尺寸精度和硬度要求高的零件。