扫描电子显微镜，是自上世纪60年代作为商用电镜面世以来迅速发展起来的一种新型的电子光学仪器，被广泛地应用于化学、生物、***、冶金、材料、半导体制造、微电路检查等各个研究领域和工业部门。制样简单、放大倍数可调范围宽、图像的分辨率高、景深大、保真度高、有真实的三维效应等，对于导电材料，可直接放入样品室进行分析，对于导电性差或绝缘的样品则需要喷镀导电层。
从结构上看，如图2所示，工业电子显微镜研发，扫描电镜主要由七大系统组成，即电子光学系统、信号探测处理和显示系统、图像记录系统、样品室、真空系统、冷却循环水系统、电源供给系统。
非金属夹杂物的化学成分特征
通过自动夹杂物分析，来反映精炼过程中非金属夹杂物的化学成分特征。飞纳电镜的 ParticleX 集成了扫描电镜和能谱，并具有一套全自动运行的软件系统，可以实现夹杂物的快速检测和分类。分析目标是直径大于 1μm 的任何夹杂物，分析面积超过 70 mm2。
钢包精炼从添加锰和硅作为脱氧的主要来源开始，脱氧应产生约 50 ppm 的总氧含量。然后将块状 FeTi 合金和丝状 NiMg 合金添加到熔体中，进一步降低总氧含量。在这个阶段，形成了大量的氮化钛、氧化镁和锰 / 钙硫化物。在这里，单一的三元相图不能代表所有相，可以创建多个三元相图。这些图显示了夹杂物在两相（TiN + 硫化物或 MgO + 硫化物）之间的连续分布情况。
离子束溅射：气态离子枪，发射的离子，被加速到1-30kev，经过准直器或一个简单的电子透镜系统，聚焦形成撞击靶材的离子束。高能离子撞击靶材原子，原子以0-100ev的能量发射，这些原子沉积到样品与靶材有视线的范围内的所有表面。可以实现1.0nm分辨率镀膜。
冷冻干燥法是将经过冷冻的样品置于高真空中，天津工业电子显微镜，通过升华除去样品中的水分或脱水剂的过程。冷冻干燥的基础是冰从样品中升华，即水分从固态直接转化为气态，工业电子显微镜生产，不经过中间的液态，不存在气相和液相之间的表面张力对样品的作用，从而减轻在干燥过程中对样品的损伤。
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