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广州潽拓维修分子泵,Edwa*** EPX TWIN 180L爱德华半导体真空干泵维修
技术参数:
品牌:Edwa*** 型号:EPX TWIN 180L
入口法兰:ISO63 出口法兰:NW25
水接头:3/8 in快速 电源供给:200/208V,50/60Hz 三相
电机额度功率:3.0kw 重量:55kg

应用:
EPX系列涵盖广泛的应用,从水处理到中度工作负载的制程。
EPX"L"系列旨在用于泵送惰性气体混合物(如负荷锁定)且通过制程机台借口提供控制的清洁工作应用
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分子泵的分类
复合式分子泵的形式很多,按结构分,主要有两种:一种是涡轮叶片与盘式牵引泵的串联组合;另一种是涡轮叶片与筒式牵引泵的串联组合。涡轮级主要用来提高泵的抽速,一般采用有利于提高抽速的叶片形状,级数在 l0 级以内。牵引级主要用来增加泵的压缩比,提高泵的出口压力。

盘式牵引级是在平板圆盘平面上按一定规律开出数条型线沟槽,Edwa***分子泵机组***,然后将数块圆盘串接起来构成,型线有阿基米德螺线、对数螺线、圆弧线等。抽气时靠高速转动的圆盘对气体分子进行“拖动”,使其沿沟槽作由内向外及由外向内的往复折回的定向流动,从而达到抽气目的。

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