工业制氧机主要由鼓风机、真空泵、开关阀、吸附器和氧气平衡罐组成。在通过抽吸过滤器从原料中除去尘粒后，***制氧机投放，空气由罗茨鼓风机加压至0.3-0.5巴，并进入其中一个吸附器。吸附器内填充吸附剂，其中水、二氧化碳和少量其他气体成分被吸附器入口处底部填充的活性氧化铝吸附，然后氮气被填充在活性氧化铝上部的沸石分子筛吸附。而氧气(包括气)是非吸附组分，其作为产品气体从吸附器的顶部出口排放到氧气平衡罐。当吸附器吸附到一定程度时，其中的吸附剂将达到饱和状态。此时用真空泵通过切换阀进行抽真空(与吸附方向相反)，真空度为0.65-0.75barg，将吸附的水分、二氧化碳、氮气和少量其他气体成分抽出排放到大气中，吸附剂再生。
相比深冷制氧方式，工业制氧机技术具有制氧成本低、开停车简单、负荷调节方便的特点，因此更适合电炉生产氧气。工业制氧机技术利用工业分子本身和氮分子的四极矩之间的强大作用，将氮吸附在沸腾的石头吸附剂上，***制氧机租赁，氧气吸附少，所以分离氧氮。该技术自20世纪50年代普拉克斯发明以来，在国内推进，我国已经是工业制氧的一大的市场。
变压吸附空分设备可生产纯度80%~95%的氧气，一般为30kPa~100kPa，制氧机，工艺简单，可真空脱附工艺中，装置的操作压力低，容器等不受压力容器规范的控制，制氧耗电量一般为0.32kWh/Nm3~0.37kWh/Nm3，吸附压力高于大气压。
当空气压力上升时，碳分子筛会大量吸附氧气、二氧化碳和水分。 压力降低到常压时，碳分子筛对氧气、二氧化碳和水分的吸附量会变得非常小。
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