这种形式的洁净隧道是由集中式送风系统的满布过滤器的静压箱所组成的。层流工作区的宽度可依照工艺提出的要求确定,而不像台式、棚式和罩式洁净隧道那样,因局部净化设备的尺寸而限制层流工作区的宽度,设计可以更为灵活。采用这种形式时,回风可以通过技术夹道,也可像图这样,在乱流操作活动区设置地沟。此外,工业管道可布置在工作区的沿壁板一侧,排风管接至地沟。
无尘车间除采用一更、二更甚至三更配备风淋设备确保人净的方案。在建筑物设计之初根据生产工艺流程合理设计物流通道,电子厂无尘车间,合理空间布局。对原材料的输入和产品的输出都应有的保护措施,应有传递通道和进出传递窗,特别是输出产品的传递窗应只允许出能逆向进物料。更应通过压差来控制从输入到输出口的气流流出方向。洁净室的空气净化至少要采用粗效、中效、的过滤方式达到洁净的送风气流。在非单向流的无尘车间洁净室中,合理布置出风口和回风口依靠洁净的送风气流把污染微粒稀释后并通过回风口排除。控制洁净室内的悬浮粒子含量在要求的浓度范围内。
设备简单,基本上是热交换器的组合体,容易制造,除小功率的屏蔽泵、真空泵外,无运动部件,因此振动小、运转平稳;设备在真空下工作,工质无嗅、***、对人无害,使用安全,操作管理简单;容易实现设备操作自动化,电子厂无尘车间报价,制冷能力可在10%~100%范围内自动调节;对冷却水的水温适应性强,电子厂无尘车间标准,即使达到37~38℃,电子厂无尘车间设计,设备仍能正常运转;节省电能,单机制冷量相同条件下,化锂制冷机的耗电量仅为压缩式制冷机的5%左右,这对于供电紧张而热源较充足的地区是很适用的。
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