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净化工程是指控制产品(如硅芯片等)所接触大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造。此环境空间的设计施工过程即可称为净化工程。洁净室系利用HEPA、ULPA过滤空气,其尘埃的收集率达99。97~99。99995%之多,因此经过此过滤器过滤的空气可说十分干净。然而洁净室内除了人以外,实验室净化工程,尚有机器等之发尘源,这些发生的尘埃一旦扩散,即无法保持洁净空间,因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。
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