MEMS微纳加工厂——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
微纳加工按技术分类，主要分为平面工艺、探针工艺、模型工艺。
微纳加工工艺基本分为表面加工体加工两大块，基本流程如下：表面加工基本流程如下：
先：沉积牺牲层材料；
第二步：光刻定义牺牲层图形；
第三步：刻蚀完成牺牲层图形转移；
第四步：沉积结构材料；
第五步：光刻定义结构层图形；
第六步：刻蚀完成结构层图形转移；
第七步：释放去除牺牲层，保留结构层，完成微结构制作；
体加工基本流程如下：
先：沉积保护层材料；
第二步：光刻定义保护图形；
第三步：刻蚀完成保护层图形转移；
第四步：腐蚀硅衬底，制作三维立体腔结构
第五步：去除保护层材料。
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MEMS微纳加工厂——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
在传统加工方法上发展起来的微机械加工技术，如微车削、微铣削、微磨削技术等。
微纳制造技术属国际前沿技术，作为未来制造业赖以生存的基础和可持续发展的关键，其研发和应用标志着人类可以在微、纳米尺度认识和改造世界。以聚合物为基础材料的微纳系统在整个微纳系统中占有极其重要地位，是较具产业化开发前景的微纳系统之一，聚合物微纳制造技术也已经开始得到应用并具有极大的发展空间。集中介绍了多种典型聚合物微纳器件及系统，并对微注塑成型、微挤出成型和微纳压印成型等聚合物微纳制造技术进行了系统的阐述，比较了各种聚合物微纳制造技术的优缺点和使用条件。末尾，结合国内外研究人员的研究成果，对聚合物微纳制造技术的未来发展做出展望。
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MEMS微纳加工厂——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，电子束***微纳加工定制，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
干法刻蚀能够满足亚微米/纳米线宽制程技术的要求，且在微纳加工技术中被大量使用。
当前纳米制造技术在环境友好方面有望大展身手的一些领域：
1、蓄电：改进传统充电电池的效率，使之能用于运输领域来减少排放，或作为高i效可再生能源的备用能源。纳米技术有望用于开发超级电容器，真空镀膜微纳加工定制，为蓄电提供新的解决方案。
2、热电：新型纳米材料可将废热转化为电能，因而对于那些利用燃烧作为主要供能方式的领域（如混合动力汽车）来说，这将较大促进节能。
3、燃料电池：作为可持续氢经济的组成部分或者是基于燃料电池的高i效的碳氢化合物，浙江微纳加工定制，在减少汽车尾气排放方面都大有潜力可挖，抑或作为热电联产电站，来降低排放。
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