




洁净区内的室内装修应选用气密性良好,且在温度和湿度变化的作用下变形小的材料。洁净室墙壁和顶棚的表面应无裂缝、光洁、平整、不起灰、不落灰尘、耐腐蚀、耐冲击、易清洗、避免眩光(如采用瓷釉漆涂层墙面和金属隔热夹芯板),阴阳角均宜做成圆角,以减少灰尘积聚和便于清洗。洁净室地面尖整体好,平整、无缝隙、耐磨、耐腐蚀、耐撞击、不易积静电、易除尘清洗(如采用环氧自流平整地坪或现浇水磨石地面)。
半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点
废气工程:由于半导体工艺对操作室清洁度要求极高,通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气,因此半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。废气排放也以挥发为主。表中给出了不同生产工艺排放的废气组成。这些废气排放主要可以分为四类:酸性气体、碱性气体、有机废气和有***体。
空压气体工程:螺杆式空压机组主要主要有以下系统组成:空气流程系统、润滑油流程系统、冷却系统、安全保护系统、控制系统及电气线路。螺杆式空压机组主要有压缩机、电动机、空气滤清器、进气阀、油气桶、空气冷却器、润滑油冷却器压力开关、单向阀、储气罐、压力表、自动排水器、安全阀等设备部件。另外在空压机系统中大多配置冷干机和空气干燥器。
洁净室的建筑布局和净化空调系统有密切关系,净化空调系统既要服从建筑总体布局,建筑布局也要符合净化空调系统的原则,天津芯片厂公司,才能充分发挥相关功能的作用。净化空调的设计者不仅要了解建筑布局以考虑系统的布置,天津芯片厂费用,而且要给建筑布局提出要求,天津芯片厂,使其符合洁净室原理。洁净室一般包括洁净区、准洁净区和辅助区三部分。外廊环绕式:外廊可以有窗和无窗,兼作参观和放置一些设备用,有的在外廊内设值班采暖。外窗必须是双层密封窗。
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