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热传导真空计的原理?通过什么量的测量来反映热传导的变化?
答:热传导真空计是依据低压气体的热传导与压力有关这一现象来进行测量的。它可以通过热丝电阻的变化来反映温度的变化,从而反映热传导的变化,用此种测量方法的真空计称为热阻真空计,又称为皮拉尼真空计。也可以直接用热电偶测量热丝的温度变化来反映热传导的变化,称为热偶真空计。

影响热传导真空计测量下限的原因是什么?
答:热丝的热量除了气体传热外,还可以沿着热丝本身向两端传热,即固体传热;还可以以辐射的方式传热,这两种传热方式与压力无关,南沙区英福康真空计维修,当压力较低,气体的传热量明显低于固体的传热和辐射传热时,就不能反映压力的变化了,即达到了测量的下限。

热传导真空计为什么易老化?
答:因热丝长期工作在高温下,受气体作用易氧化变细,或导致热丝本身结晶构造变化,因此会改变热丝的电阻,造成零点的漂移,这是属于热丝本体的。热丝表面因会吸附气体而改变了表面的适应系数,即热交换的机制,英福康真空计维修费用,造成灵敏度的变化。以上均属于老化现象。
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不同测量范围的加热电流也有差异。因此,在使用热偶计时,应按不同的量程确定规管的加热电流。①10~10-1Pa量程:规管须垂直倒置,英福康真空计维修维护,在真空度优于10-2Pa时调定加热电流(此时热电势为10mV,即满刻度),英福康真空计维修联系咨询,其加热电流可调节范围为95~150mA。②102~10Pa量程:规管须垂直倒置,在0.1MPa时调定加热电流,其加热电流可调节范围为175~300mA或以上。
热偶计规管的结构较电阻式规管复杂一些,但p-E校准曲线受外界温度的影响较小。 MEMS传感器具有小型化、低成本、、易与CMOS集成电路兼容等特点。在不同类型的MEMS传感器中, 很普遍、应用 很广泛的是压阻式和电容式传感器。与压阻式传感器相比,电容式传感器具有灵敏度高、温度系数低、功耗低等优点。
MEMS电容薄膜真空计作为MEMS电容式传感器的一种,能够满足深空探测、空气动力学研究、临近空间探索等领域对真空测量仪器测量准确度高、体积小、质量轻、功耗低的应用需求,具有广泛的应用前景。MEMS电容薄膜真空计包含真空规管和测量电路两个部分。其中,真空规管将真空度转化成电容量,测量电路对电容量进行处理得到真空度的值。MEMS电容薄膜真空规管初始电容量的范围为几到几十皮法,其电容变化量为几飞法甚至更小。
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如果用I20R表示一定量的固体热传导和热辐射,则式(4-6)可以表示为I0是灯丝的电流,不断弥补固体热传导和热辐射而带来的热量损失。A是不依存压强的常数。如果已知灯丝的电阻R、电流I0及常数A,则可以通过式(4-10)求得压强p。热电偶真空计的压强测量范围在0.1~300Pa,具有以下优点:(1)结构简单、容易制造、容易操作;
工作温度、工作电压较低;(3)所测读数为全压强,并且能够实现远距离的连续测量。但是,热电偶真空计具有受温度影响大、读数时间滞后、读数因气体种类而异、读数需要校准等缺点。热偶真空计工作特性 热偶真空计是相对真空计,其压力-热偶电势对应值难以用计算方法准确求得,因此,常常在标准环境条件下,用真空计或用校准系统经校准确定。
在一定的加热电流条件下,配用DL-3型规管的热偶真空计对干燥空气的校准曲线如图4-9和图4-10所示。图4-9DL-3型热偶真空计的校准曲线(10~10-1Pa)图4-10DL-3型热偶真空计的校准曲线(102~10Pa)由图4-10不难看出,当压力从0.1MPa开始逐步降低(图中未画出)的一段压力范围内,热偶电势E一直在零值附近,其原因是气体分子多,传导走的热量多,因而热丝温度低,热偶电势E亦低,而且此时(λ≤r1)热传导与压力无关,故热偶电势E不变化(少量变化是气体对流引起的)。
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