真空镀膜设备，主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。维护真空镀膜机不可少的一个环节，当发现真空镀膜机腔体漏气的时候，能及时排查处理，显得非常得重要。一般真空室内漏气都是从室壁上的一些小孔或部件之前的连接位细缝中产生，当抽气系统抽气后使真空室内压强下降，外部与内部的压强差使气体从压强高的外部流向压强低的真空室内，造成真空度下降。
真空镀膜机是目前制作真空条件应用为广泛的真空设备，化学气相沉积设备品牌，一般用真空室、真空机组、电气控制柜三大部分组成。辅助抽气系统：排气系统为镀膜机真空系统的重要部分，主要有由机械泵、增压泵、油扩散泵三大部分组成。它是用油来保持密封效果并依靠机械的方法不断的改变泵内吸气空腔的体积，使被抽容器内气体的体积不断膨胀从而获得真空。化学气相沉积设备
真空镀膜机主要是指需要在高真空度下进行的镀膜，化学气相沉积设备，包括真空蒸发镀膜机、真空多弧离子镀膜机、真空中频磁控溅射镀膜机、多功能中频磁控溅射多弧复合离子镀膜机、真空光学(电子束蒸发)镀膜机等。
真空镀膜机的操作注意事项
1、真空电镀机操作员要穿着整洁，袖口扣紧（佩戴袖套），多功能化学气相沉积设备，上衣下摆不能敞开，等离子化学气相沉积设备厂家，不得穿拖鞋、高跟鞋；
2、检查电路各控制开关能否正常断开闭合，电压指示380±20V；
3、检查各螺钉处连接是否牢固，电控柜、主机的连接线有无松脱现象、接地是否良好；所有电器的开关在零或者“关”的位置上；
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