氦质谱检漏仪的原理
氦质谱检漏仪的原理
氦质谱检漏仪一般由质谱管，真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源，质量分析器和离子检测器; 真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并聚焦成束，以一定能量注入质分析器，
目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。
氦质谱检漏仪的选择
选择氦质谱检漏仪时主要考虑以下问题：
（1）仪器的功能能满足检漏的要求。如有些仪器没有逆流检漏功能，正压氦质谱检漏仪检漏哪家好，就不适合吸法检漏；有些仪器没有报废漏率的设置功能，氦质谱检漏仪检漏哪家好，不宜作为批量产品筛选检漏用；流水线上要求一定的检漏速度，此时应选择有多工位的检漏仪。
（2）仪器的灵敏度能满足检漏的要求。国内外生产的不同类型的氦质谱检漏仪的灵敏度是不一样的，如果检漏要求的灵敏度较高，就要认真选择。
（3）被检件如果害怕油的污染，就应选择无油真空系统的检漏仪。
（4）被检件容积如果较大，必须选用预抽泵抽速大的检漏仪，否则就要外加预抽泵。
（5）如果被检对象不固定，正压氦质谱检漏仪检漏哪家好，体积时大时小，灵敏度要求时高时低，就要选择功能较全、灵敏度较高、检漏范围宽的检漏仪。
（6）如果检漏地点不固定，正压氦质谱检漏仪检漏哪家好，需要经常搬运仪器时，就要选择小型便携式仪器。
（7）在满足上述检漏基本要求的基础上，还要综合考虑仪器的价格是否低、操作是否简易、维修是否方便等方面的问题。
真空法氦质谱检漏的优缺点
真空法的检测标准主要有QJ3123-2000《氦质谱真空检漏方法》、GB /T 15823-2009《氦泄漏检验》，主要应用于真空密封性能要求，但不带压工作的产品，如空间活动部件、液氢槽车、环境模拟设备等。
真空法的优点是检测灵敏度高，可以准确***，能实现大容器或复杂结构产品的检漏。
真空法的缺点是只能实现一个大气压差的漏率检测，不能准确反映带压被检产品的真实泄漏状态。
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