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气体输送泵包括:1、液环真空泵(水环式真空泵)2、往复式真空泵3、旋片式真空泵4、定片式真空泵5、滑阀式真空泵6、余摆线真空泵7、干式真空泵8、罗茨真空泵9、分子真空泵10、牵引分子泵11、复合式真空泵12、水喷射真空泵13、气体喷射泵14、蒸汽喷射泵15、扩散泵等

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涡轮分子泵系统软件实际操作常见问题及常见问题清除:(1)不可以在前面泵工作中时(前面管路接入)和真空系统处在真空泵情况时将涡轮分子泵停用,不然可能使油蒸气快速过去级管道反流到泵的清理端。
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