真空法氦质谱检漏
采用真空法检漏时，需要利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空，采用氦罩或喷吹的方法在被检产品外表面施氦气，当被检产品表面有漏孔时，氦气就会通过漏孔进入被检产品内部，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品泄漏量测量。按照施漏气体方法的不同，测漏系统，又可以将真空法分为真空喷吹法和真空氦罩法。其中真空喷吹法采用喷的方式向被检产品外表面喷吹氦气，可以实现漏孔的准确***； 真空氦罩法采用有一定密闭功能的氦罩将被检产品全部罩起来，在罩内充满一定浓度的氦气，可以实现被检产品总漏率的测量。
真空法的优点是检测灵敏度高，可以准确***，能实现大容器或复杂结构产品的检漏。
真空法的缺点是只能实现一个大气压差的漏率检测，不能准确反映带压被检产品的真实泄漏状态。
真空法的检测主要应用于真空密封性能要求，但不带压工作的产品，如空间活动部件、液氢槽车、环境模拟设备等。
氦质谱检漏仪故障与处理
(1)内部的密封结构
当检漏仪内部存在泄漏时，会对检漏工作造成较大干扰，容易造成误检、误判。 检漏仪内部主要的密封部位在检漏仪的后侧(见图2)，位于隔热板的上方：①检漏仪测试口与阀门组块的连接部位，密封方式采用胶灌密封，检漏仪在运输过程中如遇到强烈震动，此处容易造成密封胶开裂。②各电磁阀与阀门组件间的连接部位。密封方式采用氟橡胶圈或金属垫片密封，橡胶圈的密封寿命有限，使用5 年以上时，有可能会存在密封失效的问题。③各零部件接口处的密封部位。如放大器与质谱室、离子源与质谱室、分子泵与质谱室、标准漏孔与阀门组件、真空计与阀门组件等接口间的金属垫片密封或橡胶圈密封。
(2)***方法
采用喷吹法对各密封部位的气密性进行检测，因检漏仪内部结构紧凑，各密封结构间的距离很近，检测时***难度较大。经摸索，在检测时采用以下技巧，可提高***的能力：①查漏前，先将分子泵风扇的电源断开，避免风扇将氦源吹散至各个密封环节，SF6真空箱测漏系统，造成***不准确。②喷吹时，要严格控制氦源的流量，尽量采用喷咀流量小的喷，提高***的能力。③仪器的反应时间小于1 s，所以在一个部位喷吹的时间约3 s，再等待约3 s 后观测信号有无变化。
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氦气检漏的基本功能（部分功能可选配）
1、对被检工件充注高压氮气或压缩空气进行耐压强度和大漏气密性检验；
2、对被检工件抽真空；
3、对被检工件充注氦气；
4、真空箱法氦质谱检测，六氟化硫充气柜真空箱测漏系统，自动判断工件漏率合格与不合格；
5、回收并循环使用氦气；
6、如果氦气浪费严重，可以将使用过程中浓度不合格的氦气进行提纯
7、PLC控制，触摸屏操作，自动检测。
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六氟化硫充气柜真空箱测漏系统-北京科仪创新公司-测漏系统由北京科仪创新真空技术有限公司提供。““真空箱式氦检漏设备”,“LNG低温容器抽真空设备””选择北京科仪创新真空技术有限公司，公司位于：北京市昌平区南口镇，多年来，科仪创新真空坚持为客户提供好的服务，联系人：通总。欢迎广大新老客户来电，来函，亲临指导，洽谈业务。科仪创新真空期待成为您的长期合作伙伴！
