真空镀膜设备的不断完善、大型化和连续化，以及涂料涂装技术的发展，可获得结合力好、耐磨性强、光亮度高的装饰性镀层。国外在执手、铰链等一些配件表面，采用真空镀Au、Ag、Al、Zr、TiN、lCrl8Ni9等，而获得综合性能的外表面，小型化学气相沉积设备，使执手、铰链等这些单一功能性配件成为具有使用功能和装饰双重性能的配件。
机械泵有很多种，福田化学气相沉积设备，常用的有滑阀式(此首要运用于大型设备)、活塞往复式、定片式和旋片式(此现在运用，这篇文章首要介绍)四种类型。
真空镀膜机日常维护***
3、扩散泵连续使用6个月以上，抽速明显变慢，或操作失当，充入大气，拆去联结水管，卸下电炉盘，将一级喷嘴拧出，先用将泵腔及泵胆清洗一遍，再用洗衣粉兑水清洗一遍，然后用清水清洗干净，待水份挥发干以后，装好泵胆，加入新扩散泵油，并装回机体，接好水管，装好电炉盘，便可以重新开机。在重新开机前，要注意检漏工作。
方法：启动维持泵，关好大门，数分钟后，化学气相沉积设备报价，观察扩散泵部分真空度是否达到6X10帕，否则要进行检漏。检查联接处是否装密封胶圈，或压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热，否则扩散泵油会烧环，无法进入工作状态。
真空镀膜机的操作注意事项
4、检查镀膜机室内不锈钢挡板的插销是否牢固，角部有无弯曲翘曲等变形情况；
5、检查水压、气压是否正常；水、油、气是否有漏滴现象；
6、设备中途停水时，应立即关闭扩散泵、粗抽泵、罗茨泵，金属化学气相沉积设备厂家，让维持泵继续运行；
7、设备中途停气时，应立即关闭扩散泵、粗抽泵、罗茨泵，让维持泵继续运行；
8、设备中途停电时，应立即关总电源，后关扩散泵、粗抽泵、维持泵；
9、扩散泵加热时，避免身体接触扩散泵加热炉、以免；
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