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湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,无尘车间洁净工程,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高,粘附的难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产温度范围为35—45%。
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3、光学微电子行业净化工程设计方案分析之分体空调柜机 FFU送风口
这是简易的一个空调方案。是直接将分体空调柜机布置于车间内,并用彩钢围护起来,在柜机回风口处再在彩钢板上开回风口(带初效过滤网);KLC风机过滤单元FFU均匀布置于吊顶天花。这个方案适用于对室内温湿度精度要求不高的无尘车间。
优点:
A.不需要占用机房面积,布置很灵活的;
B.可以满足空气的洁净度;
C.造价。如此类无尘车间初***约需要40万;
D.送风均匀度好。
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2.控制无尘车间污染
进入无尘车间须知:
(1)进入无尘车间应穿干净鞋具,不得带油渍、污泥入内;
(2)室内不得吸烟、饮食和饮水;
(3)焊接、切割、凿洞等有尘作业必须加以控制,防止碎屑大范围扩散,无尘车间洁净工程收费,每天工作结束时应将垃圾搬出室外倒入规定处;
(4)施工材料堆放整齐;
(5)室内严禁大小便;
(6)有违反以上规定者,应立即取消在无尘车间工作的资格。
在建筑了净化工程的前提下,严格遵循对无尘车间的使用规范,无尘车间洁净工程费用,以争取延长车间使用寿命,完成这样的一整间净化工程,你的经费才算是花到点子上了。
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