氦质谱检漏仪
按检漏仪上的“开始”按键，检漏仪开始对气瓶夹层进行抽空。达到检测条件后，用喷枪将分别在气瓶内胆和外胆喷吹氦气，如产品存在泄漏，氦气会进入到夹层内部，进而被抽入检漏仪内，而被检测到，超过设定报警值，检漏仪会显示漏率并发出声光报警，提示不合格。
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氦质谱检漏仪
氦在空气中及真空系统残余气体中的含量（在空气中约含5.2ppm），在材料出气中也很少，因此本底压力小，输出的本底电流也小。正因为本底小，由某些原因引起本底的波动，亦即本底噪声也就小，因此微小漏率也就能反应出来，灵敏度高。氦的质量小（相对分子质量为4），易于穿过漏孔。
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氦质谱检漏仪
氢气有些性能（如质量小、易通过漏孔）比氦还好，然而由于氢一方面有***，另一方面在油扩散泵中，由于油受热裂解会产生大量的碳和氢，使氢本底极高且波动大，以致灵敏度大大降低，所以很少采用。氦气是一种无色、无味的隋性气体。相对分子质量为4.003，分子直径为2.18×10-10m，
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