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磁控溅射镀膜的原理
电子在电场的作用下加速飞向基片的过程中与ya原子发生碰撞,uv真空镀膜厂商,电离出大量的ya离子和电子。ya离子在电场作用下加速轰击靶材,溅射出大量的靶原子,l靶原子沉积 在基片表面形成膜。二次电子受到磁场影响,被束缚在靶面的等离子体区域,二次电子在磁场作用下绕靶面做圆周运动,在运动过程中不断和ya原子发生撞击,电离 出大量ya离子轰击靶材。uv真空镀膜


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