




半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气,液氮冷冻,高纯气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延,掺杂和蚀刻工艺;高纯气体主要用作稀释气和运载气。电子气体是特种气体的一个重要分支。电子气体按纯度等级和使用场合,可分为电子级,LSI(大规模集成电路)级,VLSI(超大规模集成电路)级和ULSI(特大规模集成电路)级。
近几年来,智研数据研究中心随着我国超大规模集成电路、平板显示器、光伏发电等产业的迅速发展,电子气体市场需求量明显增长,液氮,电子特种气体的国产化已是大势所趋。据了解,我国在国产化方面取得可喜进展:国产高纯氨改变了国外气体公司垄断市场的格局,高纯四氟化碳“有价无货”时代也宣告结束,高纯已成功打开。
电子气体主要包括:、、乙、化氢、硒化氢、、四氟化碳、化三氢、、三氯化硼、三氟***、三氟化氮、、六、六氟化钨、六氟化硫、、磷烷、、、气、氨气、电子级等.
其中六氟化硫、电子级、、磷烷使用较多。
氙气 气 气 在几乎所有现代光源中都要用到氦族气体,气主要用于填充各种荧光灯、发光信号装置和辉光灯等。
对于低压放电管,在清洁的玻璃管内,纯产生橙色的光,与、氦按不同比例混合,充入各种滤光玻璃管,可制成绚丽多彩的霓虹灯(字模显示灯)。气低压放电管广泛用做指示灯。由于光灯发出的红光透射能力强,长期以不都被用不来填充各种信号装置,作为港口、机场、车站等水陆交通要地的显示标志。
性离子化检测器要用到,在Geiger-Muller计数器中要利用含、和氦的混合气。此外,在某些高压电子管转换开关和调整管中,也可以填充气。在示踪粒子检测器中,是火花室和电子流室常用的填充气。液还广泛用于低温辐射检测器,以及用于空间探索计划中其他专门仪表。与、氦和蒸气混合可用于充填磷光管。与混合可用来充填闸流射电管(thyratron radio tube)。激光技术广泛应用氦族气体,-氦连续激光器广泛应用于功率仅为零点几瓦的光学应用中。
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1、与混合组成潘宁气体,充填在荧光灯中,可降低灯的启动电压;
2、充于冷阴极放电管中,可获得橙红色的发光,用作指示灯;
3、在微波激发下,发射单色的真空紫外谱线(74.4nm和73.6nm)
氙:
1、充入HID氙灯中,液氮批发,在启动后立即获得全部光输出的80%,放电时发射白光,色温5500K;
2、可制成卤素混合气体填充卤素灯;
3、在微波激发下,发射单色的真空此外谱线(14.7nm)
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1、与混合,充填在荧光灯中,可提高光效,但启动困难;
2、可制成卤素混合气体填充卤素灯;
3、85同位素气体可填充入金属卤化物灯,帮助启动;
4、在微波激发下,发射单色的真空紫外谱线(123.6nm和116.5nm)
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