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半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气，高纯气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延，掺杂和蚀刻工艺；高纯气体主要用作稀释气和运载气。电子气体是特种气体的一个重要分支。电子气体按纯度等级和使用场合，可分为电子级，LSI（大规模集成电路）级，VLSI（超大规模集成电路)级和ULSI(特大规模集成电路）级。    

           近几年来，智研数据研究中心随着我国超大规模集成电路、平板显示器、光伏发电等产业的迅速发展，电子气体市场需求量明显增长，电子特种气体的国产化已是大势所趋。据了解，我国在国产化方面取得可喜进展：国产高纯氨改变了国外气体公司垄断市场的格局，冷库液氨，高纯四氟化碳“有价无货”时代也宣告结束，液氨供应，高纯已成功打开。

电子气体主要包括：、、乙、化氢、硒化氢、、四氟化碳、化三氢、、三氯化硼、三氟***、三氟化氮、、六、六氟化钨、六氟化硫、、磷烷、、、气、氨气、电子级等.

其中六氟化硫、电子级、、磷烷使用较多。

工业体厂家浅谈六氟化硫微水危害大么？对于六氟化硫微水怎么处理？

在电弧作用下，SF6分解为氟原子和硫原子，设备触头则蒸发出金属Cu和W蒸汽，液氨，六氟化硫微水超标就会导致水分和这些蒸汽生成金属氟化物腐蚀元部件表面。

另还可能有、HF等物质，不但会腐蚀设备，液氨生产厂家，一旦发生泄漏就会直接危害工作人员的生命健康。

我们使用SF6作为绝缘气体是看中了其自身的优越绝缘性，但是六氟化硫微水过多，导致水气结霜会使得绝缘强度下降，直接影响设备的正常运转。

看来六氟化硫微水的问题不可小看啊，极微量的水分不会造成大的影响，但是如果超标就会导致设备绝缘性能下降、腐蚀元部件、危害工作人员健康等一系列连锁反应。

为了避免六氟化硫微水可能造成的危害，我们应该从上解决这个问题。购买品牌厂家生产的SF6气体，确保在气体出厂时水分就合格，是解决问题的好方法。

问：液态氦气是不是氦气？

 答：液态氦气就是在极低温度下气态氦气转化而来的液态氦，简称液氦。氦在通常情况下为无色、无味的气体，沸点-268.785℃，它的沸点是已知物质中低的（比氢气还要低）。所以当温度在4.18K时，气体氦气的性质同一般液体一样，加以适当的压力就转化为液态氦气了。实际上液态氦气的制作不仅仅需要低温，要知道氦气是一没有三相点的物质，想要得到液态氦气除了低温之外，还需要一定的压力。

 问：液态氦气该如何贮存？一般的容器可以盛装液态氦气么?

 答：液态氦气沸点极低，当温度降至2.178K时，就转变为一种粘度接近于零的具有流动性的液氦，此时的液态氦气被称为超流体。此时的液态氦气能过扩散穿过许多常用的实验室材料，例如玻璃、橡胶、PVC等。所以液态氦气的贮存需要使用的器皿。液氦以低温储存时，其蒸气压低，所以以低压容器即可储存，一般都以真空夹层容器储存，内罐材质採用SUS304，可耐低温。