臭氧氧化法的主要优点是反应迅速，流程简单，没有二次污染问题。不过目前生产臭氧的电耗仍然较高，造纸厂臭氧化法污水处理，每公斤臭氧约耗电20～35度，制药厂臭氧化法污水处理，需要继续改进生产，降低电耗，同时需要加强对气水接触方式和接触设备的研究，提高臭氧的利用率。用臭氧作氧化剂对废水进行净化和消du处理的方法。臭氧具有很强的氧化能力，因此在环境保护和化工等方面被广泛应用。
氧在用于饮用水xiao毒时具有极高的杀菌效率，但在应用污水xiao毒时往往需要较大的臭氧投加量和较长的接触时间。其主要原因是污水中存在着较高的污染物如COD、NO2-N、色度和悬浮物等，臭氧化法污水处理，这些物质都会消耗臭氧，降低臭氧的杀菌能力，只有当污水在臭氧消du之前经过必要的预处理，才能使臭氧消du更经济更有效。臭氧与污水的接触方式传质效果也会影响臭氧的投加量和xiao毒效果。
污水处理臭氧发生应用技术包括发生、冷却、干燥、气水混合四大基础部分以及电控系统、结构系统六大方面技术。污水处理臭氧发生器因浓度需求，一般多采用气隙放电法;它的耗电量较高，印染厂臭氧化法污水处理，因此也不可避免器件温度升高;而影响臭氧产生和设备寿命的主要因素就是器件升温，所以需要冷却来稳定性能;风冷与水冷是主要的冷却手段，也有少数选择通过冷气源来处理升温现象;但是具体采用哪种方式，还是需要由设备设计来决定
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