自1902年在德国帕德博恩建立了第YI大规模水厂以来，世界上已有数千个臭氧水厂，在欧洲已达到普及的程度，美国、加拿大、日本等***都在大力发展臭氧处理饮用水工程。1980年加拿大蒙特利尔建成世界***大的臭氧水处理厂，日供水量230万吨，臭氧用量300kg/h。***新资料介绍，臭氧发生器单产量已达300kg O3/h，足够一个中等城市饮用水厂消毒使用。
我国由于经济发展水平限制，自来水厂应用臭氧消毒工艺比较少，北京、上海、抚顺等地在20世纪80年代建立了几个水厂，以北京田村水厂规模***大，臭氧装机总量15 kg/h，1997年昆明建成我国***大的臭氧水厂，臭氧装机总量33 kg/h，对提高供水质量发挥了重要作用。我国一些大型企业自供水采用臭氧消毒工艺比较积极，如大庆、胜利油田、燕山石化等臭氧水厂都在运行。
氯消毒在自来水应用很普遍。但臭氧对xi菌的杀灭率更高，水产养殖臭氧水处理，杀灭速度更快。氯消毒对水质pH值改变特别敏感，pH值由7.5变到8.0氯的投加量要加大2.5倍，臭氧水处理，而臭氧投加量改变不大。在于随着水源受有机物污染逐渐严重，氯消毒后会产生lv仿、臭二甲完、四lv化碳等氯化有机物（THM），这些物质具有致***性，臭氧水处理杀菌，而臭氧处理中氧化作用不产生二次污染化合物。这也是目前使用臭氧代替氯消毒***主要的因素，也是传统使用氯消du的美国、日本等***都在快速发展采用臭氧处理自来水的主要原因
自来水等饮用水在我国目前普遍使用氯剂消毒。而使用氯法有严重的二次污染问题存在。用氯消毒后的自来水中会产生卤代有机物（lv仿、lv胺等），经动物实验证明有致******。况且氯消毒易受温度和PH值影响。余氯还会影响饮用水的口感，特别对于饮料用水，果蔬 臭氧水处理，余氯会使碳酸饮料等饮料制品产生氯的臭味，并使饮料中的色素发生氧化，影响产品质量。
采用紫外消毒时，不同的对像菌致死所需的照射能量差异较大，另一方面原水水质对紫外杀菌效果也有影响，紫外线因在水中的穿透能力有限而难以达到理想效果。而且紫外消毒不能像余氯那样维持消毒效果
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