高纯***气是无色无味气体。化学性质极不活泼，未形成任何化合物。相对密度ds(21.1℃)1.38。气体密度1.650kg/m3(21.1℃)；液体密度1394.0kg/m3(-185.9℃)。沸点-185.9℃。熔点-189.2℃。采用空气分离提***，即将液化的空气进行精馏，得到粗***。抽出粗***，经进一步提纯可得到高纯***。高纯***在半导体工业中用作生产高纯硅和锗晶体的保护气体；可用作系统清洗、屏蔽和增压用的惰性气体；在化学气相沉积、溅射和退火等工艺中有所应用。高纯***也可作为色谱载气。***被广泛用来充填弧光灯、荧光灯和电子管；焊接保护气；在钛、钴和其他活性金属的生产中用作屏蔽气；在黑色冶金中用于吹炼特种钢。
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高纯***气的性质
高纯***气的物理化学性质
临界温度： -122.4℃
临界压力： 4864kPa
临界密度： 530.7kg/m3
熔化热(-189.37℃，68.7kPa)； 29.43 kJ/kg
气化热(-185.86℃，101.325kPa)：160.81kJ/kg
比热容(100kPa，270K)：Cp=519.16 J/(kg·K)
(100kPa，300K)：Cv=309.82 J/(kg·K)
比热比(气体，26.85℃，101.325kPa)：1.669
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高纯***气在高浓度时有窒息作用。当空气中***气浓度高于33%时就有窒息的***。当***气浓度超过50%时，出现严状，浓度达到75%以上时，能在数分钟内。
在空气中含有的0.932%的***，沸点在氧、氮之间，在空分装置上塔的中部含量高，叫***馏分。在分离氧、氮的同时，将***馏分抽出，进一步分离提纯，也可得到***副产品。对全低压空分装置，一般可将加工空气中30%～35%的***作为产品获得(新流程已可将***的提取率提高到80%以上)。
虽然是惰性气体，同时也是窒息性气体，大量吸入会产生窒息。生产场所要通风，并且，从事与***气有关的技术人员，每年定期进行职业病体检，确保身体健康。
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