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安徽贝意克设备技术有限公司

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贝意克是一家专注于新材料设备的研发生产于一体的国家级高新技术企业,拥有专利35项。...

连续进出料可回转CVD系统 BTF-1200C-II-R-CVD

产品编号:1005227902                    更新时间:2019-10-22
价格: 来电议定

安徽贝意克设备技术有限公司

  • 主营业务:管式炉,箱式炉,CVD,PECVD,升华仪
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产品详情

1、主要特点

该设备炉管可360°旋转,有助于粉料的烧结更均匀,可大角度倾斜,方便进出料,倾斜角度在0-35°之间

 

2、设备组成:加热系统,进料系统,出料系统,气体控制系统,低真空系统,炉管转动系统,电控操作系统。

 

1加热系统:

该加热系统的加热腔体采用氧化铝纤维制品,其极低的热导率和比热容,保证了炉膛的快速升温和低蓄热,特别适合于科研单位的材料工艺研究。加热元件选用电阻丝加热,适合中低温度加热系统。

高温真空电阻炉温度控制系统采用经典的闭环负反馈控制系统,控温仪表选用智能型程序温度调节仪表控温,电力调制器控制;负载采用小电压大电流控制,从而大大提高了发热元件的寿命,测温元件采用K型热偶。采用单回路温控仪能够自整定PID 参数,无须操作人员的干预,可自行根据不同温度曲线的升、降温要求调整输出信号,同时系统设置了超温、欠温、断偶报警保护功能,大大降低了对操作人员经验的要求。

 

额定功率

4KW

额定电压

AC220V  50/60Hz

***高温度

1200度

使用温度

1100度

炉管尺寸

Φ60*420*2+Φ100*360mm

 

炉管旋转速率

0~60r/min

炉体倾斜角度

0~35°

炉膛材料

氧化铝、高温纤维制品

热电偶类型

K型热电偶

控温精度

&plu***n;1℃

控温方式

30段可编程控温,PID参数自整定,

操作界面为10”液晶触摸屏控制

加热长度

200mm+200mm

恒温长度

250mm

加热元件

电阻丝

 

 

(2)进料系统:

送料系统速度连续可调,停止送料且炉体倾斜***大时,物料不会从送料系统外漏,送料系统方便拆卸,拆卸后可手动加料,设备可正常运行。

(3)出料系统:

出料系统在炉体倾斜出料时可自动出料。

(4)气体控制系统:

该控气系统是可以控制两种气体按照不同流量进行混合配比的,也可以***控制,质量流量计安装于密封的可移动的机柜内,由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成。

 

连接头类型

双卡套不锈钢接头

标准量程(N2)

***路:  200 SCCM

第二路:  500 SCCM

第三路量程可选

准确度

&plu***n;1.5%F.S

线性

&plu***n;1%F.S

重复精度

&plu***n;0.2%F.S

响应时间

气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec

工作压差范围

0.1~0.5 MPa

***大压力

3MPa

接口

Φ6,1/4''

显示

4位数字显示

工作环境温度

5~45高纯气体

压力真空表

-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止阀

Φ6

内外双抛不锈钢管

Φ6

 

 

(5)低真空系统:

该系统配备真空机械泵,可以抽真空,可以让设备在真空环境下进行反应。

  

空气相对湿度

≤85%

工作环境

5℃~40℃

工作电电压

220V&plu***n;10%  50~60HZ

功率

1KW

抽气速率

10m³/h

极限真空

5X10-1Pa

工作压力范围

1.01325X105~1.33X10-2Pa

耐压值

0.03MPa

容油量

1.1L

进气口口径

KF25

排气口口径

KF25

噪音

50dB

连接方式

采用波纹管,手动挡板阀与波纹管相连

 

(6)炉管转动系统:

炉管转动系统可以让炉管360°匀速转动,转速在0-60r/min连续可调,且能在60r/min转速下长时间运行。

3.技术指标:

 

(1)该设备炉管可360度旋转,管内壁有石英挡片帮助粉料翻转有助于烧结得更均匀;

 

(2)整个炉子和送料、收料系统能够一起倾斜,方便出放料,倾斜角度在0~35°之间可调;

 

(3)送料系统送料速度连续可调,停止送料且炉体***大倾斜时,物料不从送料系统外漏。送料系统方便拆卸,拆卸之后可以手动加料,设备可正常运行。

 

(4)炉管回转稳定,不会上下左右跳动;转速在0~60r/min连续可调,能在60r/min转速下连续长期运转(>24h)。

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地址:主营产品:管式炉,箱式炉,CVD,PECVD,升华仪

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