




手套箱功能
1、密闭循环:真空手套箱和气体净化系统构成一个密闭的循环系统,由气体净化系统提供气体循环动力。
2、人机对话:配置彩色触摸屏,中文界面,实现人机对话,操作便捷
3、自动控制(由彩色触摸屏的人机界面和PLC程序控制系统集成对系统进行控制)
实现功能:手/自动控制箱体压力;
手/自动控制气体净化系统的净化状态;
自动控制气体净化系统的还原过程;
手/自动净化系统还原、净化及转换净化柱(配置双净化柱时);
自动箱体气氛报警;
箱体内气氛和压力参数设置和手/自动转换;
气体净化系统自动控制功能的参数设置;
查阅系统历史纪录;
气体净化系统执行机构工况检测;
程序控制系统的操作错误和警告提示
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真空热蒸发镀膜工艺
OLED器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜和金属电极,薄膜的质量关系到器件质量和寿命。在有机真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发舟,钙钛矿专用手套箱厂家,加热蒸发舟蒸镀有机 材料;在金属真空腔室中设有多个放置金属电极的蒸发舟,金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作,电极材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等,通常是使用低功函数的活泼金属。ITO玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上,其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案,并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。
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手套箱操作过程中的注意事项
1、手套箱系统工作中真空泵应保持开启状态。
2、当箱内氧气浓度超出200PPM时,应通知设备维修人员进行系统操作,否则会***水、氧净化系统。
3、在手套箱启动循环前做检查,是否在进行箱体情况或再生。如以上提及的操作正在进行,肯定禁止进行循环。
4、两个净化柱不可以同时再生。
A、再生前先保证手套箱内已被惰性气体清洗干净(H2Olt;200ppm)保证足够的再生气体供应。再生气体压力为0.06-0.08mpa。
B、手套箱启动再生之前,请先确认相应的净化柱循环已关闭。
C、手套箱再生过程需要24小时,一旦执行不能被断开,再生开始后3-6小时通再生气体注意再生气的用量,适当调整再生气体的压力,保证再生气在这3小时的充足供应,第6小时后可以关闭再生来源。
D、手套箱再生进程中真空泵不可以关闭,不要触摸净化柱的顶部,以防烫坏。
E、再生一旦意外终止,请保证12小时内不能重新启动该净化柱的再生和循环否则将损坏设备。
5、手套箱作业中应注意保护作业手套不要被损坏。
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