实验室集中供气的优点
1、保持气体纯度
2、不间断气体供应：系统可以以手动方式和自动方式在气瓶之间进行切换，保证气体连续供应
3、低压警示：当气压低于警报限时，报警装置可自动启动报警
4、气体压力稳定：系统采用两级减压方式供气，可得到非常稳定的压力
5、率：通过供气控制系统，可充分使用气瓶中的气体，减少残气余量，降低用气成本
6、操作简便：所有气瓶存放在同一位置，减少搬运安装的操作，节约时间和成本费用
7、无气瓶在实验室：可提高安全性、提高安全感、节省实验室操作空间
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实验室供气系统气体管路
实验室供气管路系统工程主要是为试实验室选用的分析设备提供量值和压力稳定的标准气体，保证其储存和使用的安全性。保障分析测试人员在实验中免受******气体的侵害。按照国标要求，将所用全部气体存放于储气间，并实现集中输送，组成***供气系统。系统采用一拖一、一拖多、多拖一和多拖多的管道式输气方式，在一拖多时能够实现分段控制和在多拖一和多拖多时能够实现切换控制；并能够保证标准气体流量、压力稳定和量值传递不发生变化，满足分析检测设备对使用气体的技术要求。1、内向检漏法(喷氦法)采用管道内部抽真空，外部喷氦气的方法检漏，测试管路系统的泄漏率。
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特种气体的应用
电子工业是当今推动科技发展的高新技术产业,由于所用气体的品种多、质量要求高,为有别于其它领域应用的气体,人们把这类在电子工业中用的气体统称为电子特种气体,它是当今兴起的高技术含量、高投入、高附加值的高新技术产业。电子行业常用的特气超过三十余种，按***性质可分为不燃气体、可燃气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体等。按照物理形态可分为压缩气体、液化气体和低温气体。在半导体工业中应用的有110余种单元特种气体,其中常用的有20～30种。
特种气体的应用领域主要在集成电路制造、太阳能电池、化合物半导体、液晶显示器、光纤生产四大领域,其中主要应用于半导体集成电路的生产制造。在半导体工业中应用的有110余种单元特种气体,其中常用的有20～30种。
