激光位移传感器-位移传感器-善测科技(查看)

位移测量传感器[2-3]按照测量原理可分为电感式位移传感器、电涡流式位移传感器、超声波位移传感器、电容位移传感器等。其中，电感式传感器和电涡流式传感器在具体实验中虽然具有连续测量、精度较高等优点，但都会有系统复杂且制造困难等问题；超声波传感器具有波长短、频率高、方向性好等优点，但是易受反应堆内环境影响，造成测量困难，会产生不小的误差，且超声波传感器由于置于控制棒外壳内部，使得维修不易。相比较而言，电容传感器具有一定的优越性，它具有可靠性高、响应速度快、测量精度高等优点，且结构简单，使用方便。因此，本文使用电子六所研制的电容式位移传感器对控制棒数据进行研究。控制棒落棒过程为直线下落运动，落棒时控制棒位移与电容值之间的关系对指示棒位非常重要。本文分别使用三次样条函数、二乘法和BP***网络算法，对位移测量得到的数据进行曲线拟合分析，确***移与电容值之间的关系。

随着微机电技术的发展，如今的电容式加速度传感器都普遍采用的MEMS技术制造。下图显示了一种MEMS变电容式加速度传感器的结构，它的整个敏感元件由粘在一起的三个单晶硅片构成。其中上、下硅片构成两个固定电极，中间的硅片通过化学刻蚀形成由柔性薄膜支撑的具有刚性中心质量块的形状，薄膜的厚度取决于该加速度传感器的量程。另外，在薄膜上还有刻蚀出的小孔，当薄膜随质量块运动时，空气流经小孔从而产生所需的阻尼力。由于采用MEMS技术得到了这种一体化的结构，它的可靠性是相当高的。

电容传感器的特点

电容变换器需要将所测的力学量转换成电压或电流后进行放大和处理。 在有些条件下，激光位移传感器，这些力学量变化相当缓慢，而且变化范围， 测量要有较高的分辨率，其他传感器很难做到高分辨率要求，位移传感器型号， 而有的电容测微仪分辨率为0.01 μm，位移传感器种类， 大量程为100±5 μm，因此一般采用电容式传感器进行检测比较适宜，

这类传感器具有以下 突出优点：

高阻抗、小功率，因而所需的输入力很小，输入能量也很低。

电容式传感器因带电极板间静电引力(约几个10-5N)，因此所需输入能量，所以特别适宜用来解决输入能量低的测量问题，例如测量极低的压力、力和很小的加速度、位移等，位移传感器，可以做得很灵敏，分辨力非常髙，能感受0.001μm甚至更小的位移。