21800系列闭合回路真空节流阀
21800系列闭合回路气动节流闸阀节流阀利用标准的 HVA21200系列真空阀门设计外加一个金属节流调节装置. 这个节流调节装置包括了一个MKS 146C 真空规格测量和控制系统、欧姆龙模拟型光纤传感器和放大器、一个气动压力控制器和一个超大尺寸的 HVA 专利压差执行装置. 独特的气缸设计使冲击和振动减少到***小. 这些真空闸阀真空腔内没有机械锁,这样此就非常有益于半导体制造和其他敏感过程要求操作时相对自由振动的. 所有移动的接头都有硬轴,减少微粒的产生并且使驱动更容易. 这个系统在一个闭合回路中通过监测阀门的实际位置和系统的压力和电导来操作。在压力/电导模式下, 这个真空阀门开启或者关闭直到MKS流量或压力表监控到需要的系统达到气流量. 除了控制阀门, MKS 控制器可以监控两个计量表. 在真实位置模式, 阀门驱动器活塞式被欧姆龙传感器监控的. 传感器信号发送到 MKS 控制器, 然后相应的与所需要的阀位到启动压力控制器. 压力控制器控制压差适用于控制活塞按照要求的方向移动.
21800系列闭合回路真空节流阀产品特点
1. 专利的节流控制机构可以无限的从全开到全关变化
2. 不锈钢焊接波纹管
3. 标准或者定制法兰
4. 1000000使用周期(视系统而定)
21800系列闭合回路真空节流阀技术参数
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连接形式： |
标准或定制法兰 |
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主体材料： |
不锈钢 |
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公称通径： |
DN100-DN300 mm |
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漏率: |
2x10E-10 AtmCC/Sec |
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压力范围: |
1x10E-10 Torr |
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烘烤温度: |
《150℃ |
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适用介质： |
水、蒸汽、空气 |
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密封形式： |
软密封型 |
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驱动方式： |
气动 |
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使用寿命: |
1000000使用周期 |
21800系列闭合回路真空节流阀产品应用
这些真空闸阀节流阀可以和低温泵,涡轮分子泵,离子泵或者其他要求清洁,***循环,少量维修***和紧闭关闭的低漏气阀门.
21800系列闭合回路真空节流阀产品部件图
