BROOKS SLA5851S质量流量计

　　一、brooks气体质量流量计概览
　　Brooks的数字与模拟热式质量流量控制器具有业界一的性能—我们的许多产品都已连续工作了20年以上。我们的新型热式质量流量设备在响应时间、精度、可重复性、调节比及自诊断方面均具有显著的优势。
　　我们的热式质量流量产品还通过了多种防护（IP）认证，适用于多种***场所。
　　二、brooks气体质量流量计产品特点
　　·  较低的泄漏率
　　·  结构紧凑
　　·  内螺纹排气口抛光处理
　　·  常闭阀
　　·  对安装位置不敏感
　　三、brooks气体质量流量计技术参数
　　·  数字信号/模拟信号输出,可通过电脑直接显示控制,可配单/四/八通道显示控制器
　　·  介质:可选H2,O2等非腐蚀性气体或SiO2,SO2等腐蚀性气体
　　·  流量范围:0.03-100slpm
　　·  量程比：50:1
　　·  ***大工作压力: 1500psi(10.432Mpa)
　　·  气路接头: 1/4"VCR或1/4"SWG
　　·  电气接头:15 Pins D-Type或Card-edge
　　·  精度:&plu***n;1%FS
　　·  重复性：0.25% of rate
　　·  响应时间：1-3s
　　·  差压要求：3-6bar（压差要求与介质、量程有关）
　　·  操作温度范围：5~65℃
　　·  输出信号：0-5VDC或4-20mA
　　·  电源：+/-15V
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　　http:///st102580/erlist_ml  BROOKS SLA5851S质量流量计