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光电轮廓仪是在干涉显微镜的基础上，应用数字图像处理技术，光、机、电算相结合的***新型仪器。该仪器除在计量系统作为基础仪器外，在材料科学、生物学、化学、微机械学以及半导体工业等领域中的纳米分析测量也有广泛的应用前景。
光电轮廓仪由光学干涉显微镜、相移装置、C-MOS***、控制箱和计算机等部分组成，其系统框图如下。
工件放到干涉显微镜工作台面上，调整好干涉条纹后，计算机操纵控制箱驱动移相器，对干涉条纹进行扫描，由C-MOS接收并传给计算机，经专用软件计算、分析处理后，在计算机屏幕上显示出工件表面三维立体图、截面图和测量的数值结果，也可以打印或保存在计算机内。
光电轮廓仪的应用范围很广，它主要用于测量各种精密加工零件表面的微观三维结构，如表面粗糙度；零件表面的刻线；刻槽的深度和镀层的厚度等。具体地说，如量块、光学零件表面的粗糙度；标尺、度盘的刻线深度；光栅的槽形结构；镀层厚度和镀层边界处的结构形貌；磁（光）盘、磁头表面结构测量；硅片表面粗糙度及其上图形结构测量等等。由于仪器测量精度高，重复性好，具有非接触和三维测量等特点，并采用计算机控制和快速分析、计算测量结果，本仪器适用于各级测试、计量研究单位，工矿企业计量室，精密加工车间和高等院校及科学研究单位等。