离子镀，是在真空条件下，利用气体放电使气体或被蒸发物质离子化，在气体离子或蒸发物质离子轰击作用下，把蒸发物质或其反应物蒸镀在工件上。离子镀把辉光放电、等离子技术与真空蒸镀技术结合在一起，气相沉积设备价格，不仅明显地提高了镀层的各种性能，而且，大大扩充了镀膜技术的应用范围。
离子镀除兼有真空溅射的优点外，还具有膜层的附着力强、绕射性好、可镀材料广泛等优点。例如，利用离子镀技术可以在金属、塑料、陶瓷、玻璃、纸张等非金属材料上，涂覆具有不同性能的单一镀层、合金镀层、化合物镀层及各种复合镀层，而且沉积速度快（可达755m/min），镀前清洗工序简单，小型气相沉积设备，对环境无污染，因此，近年来在国内外得到了迅速的发展。
多弧离子PVD镀膜设备
腔体结构： 立式前开门，卧式前开门，气相沉积设备，后置真空获得系统
材质用料： 腔体采用优质SUS304不锈钢材质
离子弧源： 依据设备大小不同配备多套弧电源系统
偏压电源： 配备大功率单级脉冲偏压电源
多弧靶材： 标配多套钛靶或不锈钢靶材
转动系统： 变频调速，公自转结合，可采用上传动或下传动方式
真空系统（装饰镀膜设备Decorative coating）：扩散泵（可选分子泵） 罗茨泵 机械泵 维持泵 深冷系统（可选）
关于溅射工艺，在使用磁控溅射工艺的同时施加几种材料的精细层。该真空镀膜工艺的原材料采用靶材的形式。在溅射过程中，将磁控管放置在靶材附近。然后，在真空室中引入惰性气体，该惰性气体通过沿磁控管的方向在靶和基板之间施加高电压而加速，气相沉积设备厂家，从而从靶中释放出原子尺寸的颗粒。这些粒子是由于气体离子传递的动能而投射出来的，这些离子已经到达目标并到达基板并形成固体薄膜。该技术可以将表面上先前存在的污染物从表面上清除掉，这是通过反转基材和目标之间的电压极性
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