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安徽贝意克设备技术有限公司

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贝意克是一家专注于新材料设备的研发生产于一体的国家级高新技术企业,拥有专利35项。...

回转PECVD BTF-1200C-R-PECVD

产品编号:1208831602                    更新时间:2020-02-11
价格: 来电议定

安徽贝意克设备技术有限公司

  • 主营业务:管式炉,箱式炉,CVD,PECVD,升华仪
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产品详情

主要特点

  本款设备可以做金属复合石墨烯材料,是目前******的金属复合材料制备设备。可以用于动力电池,提升电池内阻和能量密度,有效解决新能源汽车电池的问题。

  1.该设备炉管可360度旋转,管内壁有石英挡片帮助粉料翻转有助于烧结得更均匀;

  2.可左右大角度倾斜,方便出放料,倾斜角度在0~35°之间。

  3.该款设备是全自动Pla***a增强CVD系统(PECVD),连续可控温度以及Pla***a强度等,配备真空系统,可以实现低压条件下的实验,针对低温石墨烯、碳纳米管生长等。PECVD系统能使整个实验腔体都处于辉光产生区,辉光均匀等效,这种技术很好的解决了传统等离子工作不稳定状态,这样离子化的范围和强度是传统PECVD的百倍,并解决了物料不均匀堆积现象。

技术参数

型号

BTF-1200C-R-PECVD

显示模式

7"液晶触屏显示

***高温度

1100℃

升温速率

10℃/S

控温精度

&plu***n;1℃

加热元件

电阻丝

热电偶

K型

控温方式

7"液晶触屏与工控仪表双重控温,模糊PID控制和自整定调节,人工智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能。

炉管尺寸

Φ60*420*2+Φ100*360mm

炉管转速

3~13r/min

倾斜角度

0~35°

加热功率

3KW

射频功率输出范围

0~500W

供气系统

标配三路质量流量计(50/100/200sccm)(量程可选)

供电电源

220V50Hz

通讯接口

USB

外形尺寸

1600mm*650mm*1400mm

设备净重

约220KG

 

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