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安徽贝意克设备技术有限公司

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贝意克是一家专注于新材料设备的研发生产于一体的国家级高新技术企业,拥有专利35项。...

公斤级 有机半导体材料提纯 升华仪BOF-6-210

产品编号:1208839202                    更新时间:2020-04-23
价格: 来电议定

安徽贝意克设备技术有限公司

  • 主营业务:管式炉,箱式炉,CVD,PECVD,升华仪
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产品详情

技术参数

  1.加热元件:进口KTL电阻丝。

  2.加热区数量:5-8区(可根据需求定制),实现一个温曲两点控制,使温场更均匀。

  3.升华区温度:室温至800℃,连续可调。

  保温区温度:室温至400℃可调;恒温温度随时间和空间波动不大于&plu***n;1℃(测试方法符合***计量标准JJF 1184-2007)。

  4.升华舟容积:0.5~10克,50~500克,500~2000克。

  5.控温方式:人机界面加PLC控制,10寸液晶屏控制,数字工控仪表双控,采用工业智能控温仪表和软件实现双控,采用模糊型PID控制。

  6.无纸记录:内置存储记录运行工艺数据,外接USB接口,可以电脑连接一键拷贝数据。

  7.结构描述:①设备可电动对半开启,自动控制冷却降温系统.实现可控冷却速度.

  ②在进料端配备2路高精度质量流量计系统,准确控制气体流量,可以实现生产工艺拓展和调整。

  ③系统采用自动化工艺流程,设定好工艺一键操作,降低人为因素,工艺可靠性可达到99.9%。

  8.过滤方式:系统采用三级过滤保护装置,分别采用5级微孔金属滤网、2套液氮内嵌式冷凝、90度直角台阶式过滤。

  9.外管尺寸Φ210X2000mm,腔体采用三层石英管装置,可以自动进出料,结构可保证真空室管不受污染,保持较高的真空度。中层管取料方便,易于清洗,内层料管分段升华后各段料容易区分,能***大限度的保证产品和纯度和产率(***大升华率97%,与材料和配置有关)。

  10.腔体采用内控温和外控温相互切换,防止石英折射和散射造成的温场不均匀现象。

  11.设备的正面端面都采用石英密封观察窗,可以***无死角观察生产中材料的提纯情况,配上摄像系统可实现生产升华过程全监控和记录。

  12.抽真空端采用了主管直径200mm的分子泵直连,确保实验中高真空的需求,在直径200mm直管中间加插板阀,插板阀的两端加直径3mm细管多孔旁抽支路,防止在初真空时抽速太大影响分子扩散的方向,导致材料不均匀。

  13.前级机械泵 60m³/h,分子泵抽速160L/S。

  本底真空:机械泵系统:1Pa 分子泵系统10-4Pa。

  多种异形内管可以选购

 

有机半导体材料提纯

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