VIC-D220流量控制器

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MKP韩国原装质量流量计数字型大流量质量流量控制器

系列是采用数字控制回路，即使大流量也保证了快速响应和高准确度，可以选择多种附加功能。

多气体多量程质量流量控制器 韩国MKP MARU5000

MKP质量流量控制器（Mass Flow Controller）

多量程、多气体

MARU 5000质量流量控制器

MARU 5000质量流量控制器是严格按照SEMI工艺制造，适用于各类半导体或高纯气体要求的工艺，采用数字通讯回路，便于诊断和实时控制，具有良好的抗腐蚀***，可以使用不同的气体。

MKP韩国原装质量流量计优势：

通过表面EP处理，产品有***的抗腐蚀性

由于User Interface底盘通讯速度及可能Mac ID设定

模拟与数字通讯都可用（Analog,RS485，DeviceNet ,Profibus）

MGMR功能（多气体，多量程）

产品参数：

MARU 5000  量程范围5sccm-50slm

流量测定范围：2%-100%满量程

精度：≤&plu***n;0.35%满量程（5%-35% Flow Range）/≤&plu***n;1%读数（35%-100% Flow Range）

响应时间：<1sec

重复性：≤&plu***n;0.15%满量程

正常工作压力：50-300Kpa

***大工作压力：450Kpa

零点稳定性：<&plu***n;0.5%F.S./年

温度系数：0.01%满量程/℃

泄漏率：1X10-11Pa.m³/sec（He）

阀门类型：常闭

密封形式：金属

数字接口：RS485，DeviceNet ,Profibus

信号类型：模拟0-5V，数字RS485，总线Devicenet、Profibus

电源：+15-24VDC

温度范围：5-50℃

预热时间：30min

材质：STS-316L电解抛光/真空退火（0.1ｕm Ra）