




真空纳米镀膜机设备的主要用途
(1)各种功能性薄膜:如具有吸收、透射、反射、折射、偏光等作用的薄膜。例如,低温沉积氮化硅减反射膜,以提高太阳能电池的光电转换效率。
(2)装饰领域的应用,如各种全反射膜及半透明膜等,如手机外壳,鼠标等。
(3) 在微电子领域作为一种非热式镀膜技术,主要应用在化学气相沉积(CVD)或金属有机
(4)化学气相沉积(MOCVD)生长困难及不适用的材料薄膜沉积,而且可以获得大面积非常均匀的薄膜。
磁控溅射除上述已被大量应用的领域,还在高温超导薄膜、铁电体薄膜、巨磁阻薄膜、薄膜发光材料、太阳能电池、记忆合金薄膜研究方面发挥重要作用。
真空镀膜行业市场调查分析报告显示,真空磁控溅射镀膜集热板与目前使用的涂漆集热板、阳极氧化集热板和黑铬涂层集热板等相比具有无法比拟的优点和性能。它具有良好的光谱选择性吸收特性,从而使平板太阳能热水器的热效率得到了极大地提高,而且在生产过程中不会产生任何环境污染。膜层理化性能好,提高了涂层的使用寿命,有利于连续式工业化。
用真空镀膜技术代替传统的电镀工艺,不但能节省大量的膜材和降低能耗,而且还会消除湿法镀膜中所产生的环境污染。因此国外在钢铁零件涂镀防腐层和保护膜方面,已采用真空镀膜工艺来代替电镀工艺。在冶金工业中,为钢铁和带钢加镀铝防护层已很普遍;在机械制造业中,真空镀膜工艺用于改变改变某些加工工艺和节约贵重的原材料,如飞机涡轮发动机的叶片已经不用价格昂贵的耐高温金属制造,而是采用价格低廉易加工材料,成形后再用真空镀膜的方法在叶片表面上加镀耐高温,耐腐蚀的防护层。