特种气体钢瓶在运输和储存的注意事项
由于特种气体产品的潜在***性，如氧气遇油脂着火，气瓶倒下使阀门拆断引起飞瓶，惰性气体引起窒息等等。所以在气体使用、搬运及储存中应注意的一些安全事项。
气体钢瓶在运输和装卸过程中应轻装轻卸，严禁抛、滑、滚及剧烈碰撞。
使用气体前应按要求将合格的减压阀连接到气瓶上，并清洁连接软管。不同气体的气瓶使用时不要使用同一个减压阀。
不应在封闭空间内用惰性气体（如氮气、二氧化碳等）进行实验分析、烧焊、低温冷藏、吹除等等。
烧焊时，应对气体及电气采取适当的保护措施。不要使用损坏的设备，如软管、电缆及焊枪等。
特种气体气瓶存放区应比较干燥，并有良好通风，严禁明火和其它热源，严禁曝晒可燃气瓶或氧气瓶附近严禁吸烟，气瓶不应接触到火花、火焰、热气及电路。
在储存、运输及使用杜瓦罐时不能使其卧倒，应永远使杜瓦罐保持直立状态。
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小流量气体净化系统
高纯供气系统主要应用于钢瓶气、管道气及气体发生器等的高纯连续供气，应用于超微量水、氧分析仪、气相色谱仪、常压离子质谱仪等各类气体分析仪器纯化载气或零点气，也可用于超高纯度气体管道安装施工中的吹扫气体，更可以为半导体工艺设备提供超高纯的工艺气体。消除时间：是指从检漏方法停止（如停止喷吹示漏气体）到指示方法或仪器指示值下降到漏孔泄漏率的37%时所需的时间。
气体净化系统根据需求采用常温或者高温吸附剂，电化学抛光316L不锈钢管件，出气口配置微米过滤器，其气体纯化指标达到各项杂质含量小于1ppb的世界***水平。
气体配比仪采用高精度质量流量计，电化学抛光316L不锈钢管件，双卡套或者VCR气体接头。
高纯气体的输送管路系统
随着微电子工业的发展，超大规模集成电路制造的硅片尺寸越做越大，要求半导体制造工艺中的气体品质相应越来越高，对气体中杂质和露1点要求极为严格，需要达到ppb、ppt级，尘埃粒径求控制小于0.1～0.05m的微粒，因此对高纯气体的输送管路系统提出了非常高的要求 。按照国标要求，将所用全部气体存放于储气间，并实现集中输送，组成***供气系统。
