甩干机

一、主要用途该产品主要用于硅圆片、掩膜板、太阳能电池等其它类似材料的高洁净度冲洗甩干。具有单腔、双腔两种结构（也可按用户要求配置） 二、主要技术特点 1.采用高性能的可编程控制器实现逻辑控制。 2.采用彩色液晶汉显监控，可存储十种用户工艺菜单。 3.结构采用净化处理技术。 4.去离子水电阻率监控。 5.防静电控制。 6.氮气温度控制。 7.腔体温度控制。 8.转轴氮气密封。 9.可选无刷电机驱动。 10.旋转载体***。 11.故障自动诊断，显示及报警系统。 12.可按用户特殊要求配制。 三、主要技术指标： 1.***大加工硅片尺寸：8”（片架连接按用户要求配制） 2.工作腔数量：1?D2个（可选） 3.去离子水耗量：5L/min（单腔单片盒） 4.去离子水压力：2.3?D2.8bar 5.氮气耗量：125L/min（单腔单片盒） 6.氮气压力：2.5?D3bar 7.氮气过滤精度≤0.005m 8.氮气温度控制范围：80℃ 9.旋转腔转速：300?D2400rpm 10.电源：AC220V&plu***n;AC220V*10% 11.外型：765*460*1800（双腔单片盒）、730*460*1300（单腔单片盒） 12.重量：420kg（双腔单片盒）、240kg（单腔单片盒） 四、产品型号说明： 1.CXS?DX Y Z冲洗甩干机 2.CXS?D旋转冲洗甩干机 3.X?D工作腔数量（1为单腔、2为双腔，也可按用户特殊要求定制） 4.Y?D***大加工直径4” 5” 6”(100mm 125mm 150mm) 5.Z?D型号特征ABC（为用户特殊要求标志及产品改进型标志） 五、产品规格 1.CXS?D2150SA为双腔、***大加工硅片直径为Φ150mm、双片盒结构、A型旋转冲洗甩干机 2.CXS?D1150B为单腔、加工硅片直径为Φ150mm、单片盒、B型旋转冲洗甩干机