如果真空镀膜设备持续不断的使用了6个月以上，真空镀膜设备的抽速就会有明显的变慢，那怎样去维护呢？本文主要讲诉了对真空镀膜设备长时间运行后的要点。
首先，必须要冲入大气，拆去连接水管，将一级喷嘴拧出来，再用将泵腔以及泵胆清洗一下，再使用洗衣粉兑清水再清洗一次，待水份挥发干后，手机纳米镀膜设备，装好泵胆，重新加入新扩散的泵油并装回机体重新开机。真镀膜设备在重新开机时要特别注意捡漏工作，先观察扩散泵部分是否达到6*10PA，否则需要进行检漏。检查连接处是否密封，或压坏密封圈。排除漏气隐患后才可以加热，否则扩散泵油会烧坏导致无法进入到工作状态。
真空镀膜机厚度均匀性，真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类
1。基片材料与靶材的晶格匹配程度
2、基片表面温度
3. 蒸发功率，速率
4. 真空度
5. 镀膜时间，厚度大小。
镀膜机开总电源，真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延
1. 开水泵、气源。
2. 开总电源。
3. 开维持泵、真空计电源，真空计档位置V1位置，等待其值小于10后，纳米镀膜设备，再进入下一步操作。约需5分钟。
4. 开机械泵、预抽，开涡轮分子泵电源、并启动，真空计开关换到V2位置，抽到小于2为止，硅胶纳米镀膜设备，约需20分钟。
5. 观察涡轮分子泵读数到达250以后，关预抽，开前级泵和高真空阀继续抽真空，抽真空到达程度后才能开右边的高真空表头，观察真空度。真空到达2×10-3以后才能打开电子枪电源。
玻璃镀膜设备是利用真空磁控溅射方式在浮法玻璃表面进行镀膜的***设备，镀膜舱室真空度为1.0E-6mbar的高真空，生产线采用真空磁控溅射方式在玻璃表面进行镀膜，橡胶纳米镀膜设备，保持高真空环境是玻璃镀膜设备的基本条件。
玻璃镀膜设备由真空腔室、镀膜腔室、狭缝阀、工艺介质平台、狭缝阀、传动系统、液压设备、冷却系统、放气系统、压缩空气系统、冷却水系统等组成，采用电气程序全自动控制。
玻璃基片通过传动辊道实现水平直线传输，依次经过锁室、缓冲室、过渡室进入工艺腔室，镀膜工艺完成后，经过渡室、缓冲室、锁室传出。传动辊道间通过同步齿形皮带联动，传动辊道由减速机通过施密特联轴器、刚性联轴器等与辊道相连。真空系统主要通过各种真空泵来实现，在生产线各个关键位置均安装各级真空规测量真空度。
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