




利用新纳米技术开发的功能金属氧化物薄膜材料(Functional Thin-Film Metal-Oxides Materials,具有优良的电磁传导、物理化学和机械性能,可广泛应用于节能照明、显示电子、化合物检测、柔性透明和气体传感等领域,具有开启后硅基半导体电子新时代的巨大潜力。欧盟第七研发框架计划(FP7)提供980万欧元资助,总研发投入1340万欧元,由欧盟8个成员国德国(总协调)、英国、意大利、比利时、荷兰、葡萄牙、希腊和斯洛文尼亚,微纳米电子工业界联合科技界组成的欧盟微纳米电子技术平台(ORAMA ETP)。在建立紧密合作型研发创新公私伙伴关系(PPP)的同时,将长期致力于功能金属氧化物薄膜材料的研制开发及商业化推广应用。
国内外实践证明,大功率电子枪是钢带连续真空镀膜工艺的理想热源。这是因为
(1)电子枪发射的电子束经聚焦后可达到极高的能量密度,轰击坩埚镀膜材料,可使其温度达到3000℃以上,远比电弧温度高。
(2)电子束能量转化率高达80%-90%,采用磁偏转系统可以方便地进行电子束聚焦和扫描,加热均匀。
(3)电子束只轰击镀膜材料表面,不会由于其它材料的掺入而引起夹杂问题。
(4)电子枪蒸发镀膜机使用时的束斑直径、电功率、加束电压、扫描轨迹、频率等参数都容易实现调节。
(5)使用电子枪还可以在钢带镀膜生产过程中对被镀钢带进行真空预热,就是使用电子枪清洁钢带,轰击表面使其活化。通过电子束不停的扫描,钢带表面温度控制在200~550℃,这种预热是钢带镀膜和提高镀膜附着力所必须的。
真空镀对面涂层的要求:
①与镀膜层要有良好的接触性能;
②与底涂层要有一定的相溶性;
③成膜性能与施涂性能优良;具有适当的机械强度;
④防潮、抗溶剂、耐腐蚀性能好。抗老化性能强。
由于产品的特殊需要,在面涂层上还可进一步施涂超硬涂层或彩色涂层等。
2.常用涂料
真空镀常用涂料有紫外光固化涂料、酰酯涂料、醇酸树脂涂料、环氧树脂涂料、聚氨酯涂料等。