




金手指镀膜在金手指表面形成一层纳米镀膜,主要有如下作用:·降低镀金层厚度甚至用镀银取代镀金,大大降低生产成本·金手指表面不再担心污染问题,所有脏污可以方便地清洗去除。·镀膜金手指可以耐300℃以下高温不会出现氧化变色问题,从而可以实现***T工艺时免贴胶带过炉。·镀膜层对金表面缺陷有修复作用。·镀膜金手指耐磨性相对普通金手指提高一倍以上。·镀膜金手指表面电阻率与普通金手指相当。
对于溅射类镀膜,可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材,并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来,并且终沉积在基片表面,经历成膜过程,终形成薄膜。
溅射镀膜又分为很多种,总体看,与蒸发镀膜的不同点在于溅射速率将成为主要参数之一。
溅射镀膜中的激光溅射镀膜pld,组分均匀性容易保持,而原子尺度的厚度均匀性相对较差(因为是脉冲溅射),晶向(外沿)生长的控制也比较一般。以pld为例,因素主要有:靶材与基片的晶格匹配程度、镀膜氛围(低压气体氛围)、基片温度、激光器功率、脉冲频率、溅射时间。
溅射镀膜中的激光溅射镀膜pld,组分均匀性容易保持,而原子尺度的厚度均匀性相对较差(因为是脉冲溅射),晶向(外沿)生长的控制也比较一般。以pld为例,因素主要有:靶材与基片的晶格匹配程度、镀膜氛围(低压气体氛围)、基片温度、激光器功率、脉冲频率、溅射时间。对于不同的溅射材料和基片,参数需要实验确定,是各不相同的,镀膜设备的好坏主要在于能否控温,能否保证好的真空度,能否保证好的真空腔清洁度。MBE分子束外沿镀膜技术,已经比较好的解决了如上所属的问题,但是基本用于实验研究,工业生产上比较常用的一体式镀膜机主要以离子蒸发镀膜和磁控溅射镀膜为主。