多层光学镀膜机适合镀制多种光学膜。如望远镜、眼镜片、光学镜头、冷光杯等，配置不同的蒸发源及膜厚仪可镀多种膜系。对金属、氧化物、化合物及其他高熔点膜材皆可蒸镀，并可在玻璃表面超硬镀膜。
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技术参数列表:
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型 号
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GX-1050A
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GX-800A
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GX-900A
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GX1200A
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镀膜室尺寸
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Ф1050×1250，304不锈钢。
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Ф800×1000
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Ф900×1050
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Ф1200×1250
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镀膜腔内尺寸
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工装夹具支架离地1580mm，适合***工学的操作高度。
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工装夹具支架离地1380mm，适合***工学的操作高度。
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工装夹具支架离地1410mm，适合***工学的操作高度。
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1.拱型单工件盘，更大限度满足客户对均匀性的需要。旋转3-35r/min，无级变速。
2.拱型三工件盘，行星公自转，更大限度满足客户对生产量的需要。旋转3-35r/min，无级变速。
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工装夹具
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供型四片装，支架倾角可调，更大限度满足客户对均匀性的需要。旋转3-35r/min，无级变速。
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拱型单工件盘，更大限度满足客户对均匀性的需要。旋转3-35r/min，无级变速。
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拱型单工件盘，更大限度满足客户对均匀性的需要。旋转3-35r/min，无级变速。
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真空系统
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机组：扩散泵KT-600(创益），罗茨泵ZJ-300，机械泵2X-70，维持泵2X-8。管路为304不锈钢。
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机组：扩散泵KT-600（创益),罗茨泵ZJ-600,机械泵2X-70，维持泵2X-8。
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机组：扩散泵KT-600（创益），罗茨泵ZJ-600,机械泵2X-70，维持泵2X-8。
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机组：扩散泵KT-800（创益），罗茨泵ZJ-600,机械泵2X-70，维持泵2X-8。
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极限真空：优于4×10-4Pa。
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配置防湍流装置，安全互锁设计，手动，自动可选。
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加热系统
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发热管上加热方式，PID控制，***高350℃&plu***n;1.5℃。
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工作气体充气
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气体质量流量控制仪器或手动微调充气阀。
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真空电离轰击
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直流3KV,06KW棒状阴极（用于镀膜前进行自行对工件清洗）。
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蒸发源（选配）
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1. TELEMARK-270°电子枪（进口），6KW、高压4KV-10KV可调。***扫描、三角波扫描、圆形扫描、螺旋扫描。束斑聚焦性好、***精度高，扫描再现性好。
2.国产电子枪（奥普康）：6KW、高压4 KV～8KV可调，可自由选择三角波、正弦波、方波扫描。
3.坩埚：六穴Φ38×20坩埚或四穴Φ38×20加一穴中心弧长87的弧形坩埚（用于耗量大低熔点蒸发材料）或四穴Φ48×18坩埚。
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离子源（选配）
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1. RF（射频型）离子源（进口）。
2. 5KVA霍尔离子源（奥普康），用于电镀前清洗或电镀过程进行辅助镀，有利于提高膜层折射率，牢固度、提高膜层致密性、附着力。
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膜厚控制系统（选型）
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1．MDC-360晶控器（进口）可储存1～99层自动镀膜过程，99种程序数据，精度0.5%+1?固定误差。2TELEMARK-880晶控器（进口）：可储存1～99层自动镀膜过程、99种程序数据。精度0.5%+1?固定误差。
3．TELEMARK-820光控器（进口）：采用多波长的全光谱终点分析技术，通过对监控片370-870㎜的透射率（或反射率）曲线分析来判定膜层终了。控制精度高，同时也可采用单波长控制、自动控制和手动控制。附加MACILEOD膜系计算软件,一体化程度高。
4．TELEMARK-820光控器配合TELEMARK-880晶控器能满足高精度、高重复性的镀膜要求。与上位机配合可以实现全自动控制。
5．国产光控器（如9704型配套单色仪等）波长330～870可调，精度可达到&plu***n;1.5nm。
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手操器
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带磁底座，可安置在真空室门及控柜任意位置。
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