由于超精密加工的精度等级和表面质量都很高，因此，一定要有相应的检测手段，才能验证工件是否达到了相应的技术要求。在精密超精密加工和测量中，对测量技术提出了更为严格的要求，即要求测量误差比加工误差高一个数量级。目前，超精密测量仪正向高分辨力、高准确度和高可靠性的方向发展。公司发展了分辨率均可以达到1?nm的测量元件；3、便携式LIBS***检测仪处于实验室原理验证阶段，预计2017年下半年完成样机开发。美国HP、zygo、英国Taylor等公司的测量仪器均可以满足纳米测量的需求。
制造业是国民经济的支柱产业，随着制造业的快速发展，尤其是***制造技术的出现，新工艺、新加工方法不断涌现。精密加工和超精密加工是***制造技术的重要支柱，也是提高制造技术水平的关键。当前，在制造自动化领域，进行了大量有关计算机辅助技术软件CAD、CAPP、CAM的开发，计算机集成制造技术CIM、生产模式（如精良生产、敏捷制造、虚拟制造等），以及清洁生产和绿色制造等研究，代表了当前制造技术的一个重要方面。但这绝非高新制造技术的全部，作为制造技术的主战场，仍然要靠精密加工和超精密加工技术。CDMS使用电容传感器实现非接触位移、位置、振动、角度、介电常数及各种形变、厚度、刚度等参数的高精度检测。
