





4、光学微电子行业净化工程设计方案分析之无尘车间的特点
A、无尘车间洁净度:LCD制屏的简略流程为:清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷层散布隔垫物→组合→划线和切割→LC注入→贴偏振片→制屏终检。在本设计里是指末端工艺的一些无尘车间,其净化洁净度一般为千级或万级或十万级。背光屏类无尘车间主要是这类产品的冲压车间、组装等无尘车间,其洁净度一般为万级或十万级。(3)混合照明这是指工作面上的照度由一般照明和局部照明合成的照明,其中一般照明的照度按《洁净厂房设计规范》应占总照度的10%—15%,但不低干150LX。
B、室内空气参数要求 :(1)温湿度要求:温度一般为24 2℃,相对湿度为55 5%。(2)新风量大。由于这类车间内,人员比较多,可以根据以下数值应取下列的高值:非单向流洁净室总送风量的10-30%;补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量;保证室内每人每小时的新鲜 空气量≥40m3/h。(3)送风量大。为了满足洁净室内的洁净度及热湿平衡,需要较大的送风量,就300平方米的车间,吊顶高度为2.5米的,如果是万级,送风量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送风量(换气次数,是≥25次/h);如果是十万级,送风量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送风量(换气次数,是≥15次/h)。●空气过滤器的选用布置和安装方式,应符合:初效空气过滤器不应选用浸油式过滤器。
参与洁净室项目的朋友可能不了解净化项目的组成系统。 目前尚不清楚哪种系统组件主要用于净化工程系统。 以下简要介绍净化工程系统的主要组成部分。 通过本文的介绍,我希望我的朋友能够理解净化项目。净化工程的主要组成部分有六个部分:地面系统,风道系统,自动控制系统,电气系统,给排水系统和空气过滤系统。相对湿度越高,粘附的越难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。
自动控制系统:
包括温度控制,温度控制,风量风压控制,开启顺序和时间控制;电气系统:照明,电力和弱电,包括净化灯,插座,电气柜,线路,监控,电话等强弱系统;给排水系统:供水,排水管道,设施和控制装置;地面系统:环氧树脂通常用于清洁地面。