蚀刻设备的维护
维护蚀刻设备的***关键因素就是要保证喷嘴的高清洁度及无阻塞物， 使喷嘴能畅顺地 喷射。 阻塞物或结渣会使喷射时产生压力作用， 冲击板面。 而喷嘴不清洁﹐则会造成蚀刻 不均匀而使整块电路板报废。明显地﹐设备的维护就是更换破损件和磨损件﹐因喷嘴同样存在着磨损的问题， 所以 更换时应包括喷嘴。 此外﹐更为关键的问题是要保持蚀刻机没有结渣﹐因很多时结渣堆积 过多会对蚀刻液的化学平衡产生影响。
4. 提高安全处理和蚀刻薄铜箔及薄层压板的能力 在蚀刻薄层板时 (如: 多层板的内层板)，龙岗PMMA面板， 基板容易卷绕在滚轮和传送轮上而造成废 品， 所以蚀刻内层板的设备必须要保证能平稳地及可靠地处理薄的层压板。 现时，PMMA面板厂家， 许多设备制造商在蚀刻机内附加齿轮或滚轮来防止卷绕的情况， 但更好的方法却是附加左右摇摆 的四氟乙烯涂包线作为薄层压板传送时的支撑物。 对于薄铜箔（例如 1/2 或 1/4 盎司）的蚀刻， 必须保证铜面不被擦伤或划伤。
蚀刻是在光刻过的基片上可通过湿刻（wet etching）和干刻（dry etching）等方法将 阻挡层上的平面二维图形加工成具有一定深度的立体结构。选用适当的蚀刻剂，PMMA面板定制，使 它对光胶、薄膜和基片材料的腐蚀速度不同，可以在薄膜或基片上产生所需的微结 构。 ? 复杂的微结构可通过多次重复薄膜沉积－光刻－蚀刻这三个工序来完成。微流控基片通过预处理，涂胶，前烘，***，PMMA面板批发，显影及坚膜，去胶等步骤后，材料上 呈现所需要的图形，即通道网络。 盖板与微流控芯片基片的封接 ? 基片和盖板封接后形成封闭的小池，可用来储存***或安装电极。
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