








因为上板面有溶液的堆积﹐减弱了蚀刻反应的进行, 但可以通过调整上 下喷嘴的喷淋压力来解决上下板面蚀刻不均的现象。 蚀刻工艺的一个普遍问题是在相同的时间里使全部板面都蚀刻干净是很难做 到的。 因基板的边缘位置比中心部位蚀刻得更快, 故很难做到同时使全部蚀刻都干 净。 而采用喷淋系统并使喷嘴摆动喷射是一个有效的解决措施。 要更进一步地改 善, 可以透过对板中心和边缘处不同的喷淋压力, 以及对板前沿和板后端采用间歇 蚀刻的方法﹐达到整个板面的蚀刻均匀性。

注: a.烘干速度应与碱洗速度相同; b.水洗时水量较大,玻璃镜片加工,要确保冲洗干净。 (4)注:开机运行到设定温度后(约 15~20 分钟),摄像头镜片加工,方可测试酸液及碱液的浓度,其在规定范围内可进行生产。
二、酸溶液的配制 1.酸液 1)第二槽酸液配制方法: a.开槽配 360 升左右酸液 b.配制比例: 盐酸 HCL(36~38%) : 纯水 H2O 1 : 1.5 c.取 178 升的 HCL 慢慢加入 267 升纯水中(边搅拌边加入) 。配好后测试酸的当量浓度,在范围内方可使用。
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