置换过程中氮气浓度对安全性的影响
置换的过程中，常见风险以“”、“窒息”、“火灾”
等为主。导致上述风险发生的原因，与氮气浓度过低存在一定
的联系。如注氮浓度过低，导致管道中氧气量过大，置换的过程
中，易与管道中的空气混合，诱发事故[2]。此外，置
换的过程中，管道氮气置换方案，如速度过低，则容易导致管道内的气体形成层流
状态，导致大量氧气、氮气与混合，形成混合气体。混合
气体的形成，降低了管道中的氮气浓度。随着气体混合长度的
延长，管道中的焊渣将在气体的带动下与管道发生碰撞，在达
到混合气体的极限时，导致事故发生。***气体的特别事项
作为半导体晶圆代工厂气体的使用者，每一位工作人员都应该在使用前对各种***气体的安全数据加以了解，并且应该知道如何应对这些气体外泄时的紧急处理程序。一般来讲，我们将有三重保障来防范万一有意外发生的***气体外泄进入到工作环境中。一个是特种气体的气瓶以及全部经过正负压测漏的气体输送管路；第二个是持续不断的排气抽风系统（Exhaust），管路节点如气瓶柜、VMB、工作台等均具有很强排气抽风系统，以确保每一管路节点外围都处于负压环境。若发生微量的有***体的泄漏，排气抽风系统将******时间抽出；另外一个很重要的是处于抽风口或环境点的毒性气体侦测器系统，若发生任何有***体的泄漏将会被气体侦测系统所侦测到，这个控制系统将根据气体外泄对***危害的大小来确定整个气体输送系统的相关互锁动作，严重时紧急关闭上游所有气源，同时会驱动***控制室和现场的相关报警系统LAU，甚至会驱动全厂的自动语音广播系统通知立即疏散，要求相关人员迅速撤离报警区域。因此只要工程技术人员严格按照所制定的标准作业程序操作，所有这些安全装置都将确保人员不会有安全上的顾虑。
氮气置换液化气流程
为了废碱性水的问题，管道置换氮气，在 2013 年
过程中，通过外引高压氮气（2.5 MPa）对
液化气脱硫醇系统内部液化气进行置换处理。根
据液化气脱硫醇装置的工艺流程，管道氮气置换，通过添加临时
线变通，从液化气脱硫醇各设备顶部充压，底
部引出退料，退料液化气全部转入液化气缓冲罐
D-501，然后使用液化气 P-501 转进液化气罐区，
避免氮气进入液化气罐区，对罐区造成冲击。工
艺流程见图 1。因氮气密度比液态液化气轻，因
此临时配管退液化气线必须从各塔、罐底部引
出。
退液化气脱硫醇系统中液化气的基本步骤
为：
1）高压（2.5 MPa）氮气经 P-504 出口沿催
化剂碱线进 C-501 塔顶，实现脱硫醇装置液化气
系统充压。
2）C-501 充压至 1.2 MPa，氮气沿正序流程
*** E-503，后进水洗罐 D-503、沉降罐 D-504，
通过各设备底部临时管线，管道 氮气置换，依次退净 E-503、
D-503、D-504 内液化气至缓冲罐 D-501。 3）C-501 退料通过催化剂碱液线转进 D-501，
C-501 退碱时，应保证碱液退净，液化气退料线
上进下出，通过现场玻璃板以及现场流量计变化
情况判定是否压净。
4）D-502 充压：从 C-501 入口线经 E-502 倒
转进罐，尽量将管线内液化气置换干净，通过罐
底退水线转进 D-501，实现氮气上进下出，通过
现场玻璃板判定液化气是否压净。
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