北京华沛智同高精密研磨抛光机

北京华沛智同高精密研磨抛光机
　　Akribis-Air智能研磨抛光机，具有高度自动化的***系统，提供了工艺创新，在短时间内可实现Z高水平的处理。完整的Akribis-air研磨抛光系统具有智能自动化的功能，如盘面平整度控制、夹具自动设置、动态负荷控制、增加控制参数、实时数据收集和反馈、计量磨料供应、自动清洗功能等。
　　盘面平整度控制；
　　夹具自动设置；
　　动态负荷控制；
　　增加控制参数；
　　实时数据收集和反馈；
　　计量磨料供应；
　　自动清洗功能；
　　单工作站系统配有400mm的盘，速度为100rpm。当使用LOFITECH的动态负载控制的新智能夹具系统，在广泛的应用程序中提供快速、可靠和高度准确的结果。LOFITECH的空气驱动智能夹具可用于100毫米和150毫米晶圆处理。
　　Akribis-air智能研磨抛光机典型应用:
　　硅集成电路、太阳能和波导；
　　III-V族化合物稀释和抛光；
　　蓝宝石和发光二极管；
　　碳化硅光学,发光二极管和电力电子；
　　氮化***-光学仪器、激光、射频高频。
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